Содержание

Понятие, уровни вакуума и единицы измерения Vuototecnica. КИП-Сервис: промышленная автоматика.

Термин «вакуум«, как физическое явление — среда, в которой давление газа ниже атмосферного давления.

Количественной характеристикой вакуума служит абсолютное давление. Основной единицей измерения давления в Международной системе (СИ) служит Паскаль (1 Па = 1Н/м2). Однако, на практике встречаются и другие единицы измерения, такие как миллибары (1 мбар = 100Па) и Торры или миллиметры ртутного столба (1 мм.рт.ст. = 133,322 Па). Данные единицы не относятся к СИ, но допускаются для измерения кровяного давления.


Уровни вакуума

В зависимости от того, на сколько давление ниже атмосферного (101325 Па), могут наблюдаться различные явления, вследствие чего могут использоваться различные средства для получения и измерения такого давления. В наше время выделяют несколько уровней вакуума, каждый из которых имеет свое обозначение в соответствии с интервалами давления ниже атмосферного:

  • Низкий вакуум (НВ): от 10
    5
    до 102 Па,
  • Средний вакуум (СВ): от 102 до 10-1 Па,
  • Высокий вакуум (ВВ): от 10-1 до 10-5 Па,
  • Сверхвысокий вакуум (СВВ): от 10-5 до 10-9 Па,
  • Черезвычайно высокий вакуум (ЧВВ): <10-9 Па.

Данные уровни вакуума в зависимости от области применения разделяют на три производственные группы.

— Низкий вакуум: в основном используется там где требуется откачка большого количества воздуха. Для получения низкого вакуума используют электромеханические насосы лопастного типа, центробежного, насосы с боковым каналом, генераторы потока и т.д.

Низкий вакуум применяется, например, на фабриках шелкотрафаретной печати.

— Промышленный вакуум: термин “промышленный вакуум” соотвествует уровню вакуума от -20 до -99 кПа. Данный диапазон используется в большинстве применений. Индустриальный вакуум получают с помощью ротационных, жидкостно-кольцевых,поршневых насосов и лопастных вакуумных генераторов по принципу Вентури. Область применения промышленного вакуума включает в себя захват присосками, термоформование, вакуумный зажим, вакуумная упаковка и др.

— Технический вакуум: соответствует уровню вакуума от -99 кПа. Такой уровень вакуума получают при помощи двухуровневых ротационных насосов, эксцентриковых роторных насосов, вакуумных насосов Рутса, турбомолекулярных насосов, диффузионных насосов, криогенных насосов и т.д.

Такой уровень вакуума используется в основном при лиофилизации, металлизации и термообработке. В науке технический вакуум используется в качестве симуляции космического пространства.

Наивысшее значение вакуума на земле значительно меньше значения абсолютного вакуума, которое остается чисто теоретическим значением. Фактически, даже в космосе, несмотря на отсутствие атмосферы, имеется небольшое количество атомов.

Основным толчком к развитию вакуумных технологий послужили исследования в промышленной области. В настоящий момент существует большое количество применений в различных секторах. Вакуум используется в электролучевых трубках, лампах накаливания, ускорителях частиц, в металлургии, пищевой и аэрокосмической индустрии, в установках для контроля ядерного синтеза, в микроэлектронике, в стекольной и керамической промышленности, в науке, в промышленной роботехнике, в системах захвата с помощью вакуумных присосок и т. д.

Вакуумная техника AERZEN пользуется широким спросом

От атмосферного давления до вакуума

Пищевая, фармацевтическая, химическая, автомобильная промышленность, технологии производства, металлообработка: во многих отраслях промышленности и разнообразных производственных процессах используются газы под давлением, значительно меньшим атмосферного. Давление на уровне -700 мбар (300 мбар абс.) считается разрежением. Ниже уровня 300 мбар абс. начинается диапазон вакуума, который делится на поддиапазоны низкого, среднего, высокого, сверхвысокого вакуума (см. таблицу). 

При описании вакуумной техники указывается абсолютное давление в миллибарах (мбар). Термин «абсолютное» означает, что значение соотносится с абсолютным вакуумом. Абсолютному вакууму соответствует абсолютное давление 0,0000 мбар.  При описании вакуумной техники всегда указывается абсолютное давление, поэтому обозначение «абс.» обычно опускается.
При использовании насосных агрегатов на заводах можно экономно достигать уровней низкого, среднего, высокого вакуума. Такие вакуумные насосные агрегаты имеют конфигурацию не менее чем из двух ступеней. В составе такого агрегата одновременно работают насос предварительного разрежения и воздуходувка нагнетательного действия. Компания Aerzener Maschinenfabrik GmbH, которая производит воздуходувки нагнетательного действия с 1868 года, в 1940 году приступила к производству специальных воздуходувок нагнетательного действия для создания вакуума. Таким образом, AERZEN является не только одним из новаторов в этой технологии. В настоящее время компания является ведущим мировым производителем широкого ассортимента воздуходувок разрежения и вакуумных воздуходувок. Такой успех компании стал возможен благодаря технической компетентности, высокоточному производству, постоянному совершенствованию продукции, опытному персоналу и непрерывному диалогу с заказчиками. Для создания разрежения до 500 мбар абс. AERZEN поставляет воздуходувки нагнетательного действия серии Delta Blower G5. Недавно разработанные роторно-лопастные компрессоры серии Delta Hybrid создают отрицательное давление до 300 мбар абс. На одной ступени агрегата достигается отрицательное давление до 500 мбар абс. или до 300 мбар абс.

Совместная работа насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки нагнетательного действия

Схема 4-ступенчатого насосного агрегата: ступени 1 и 2 с воздуходувкой HV

Однако отрицательное давление ниже 300 мбар абс. можно получить только при использовании двухступенчатого насосного агрегата при совместной работе насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки нагнетательного действия. Это позволяет безопасно достигать требуемого оператору объемного расхода, называемого рабочей точкой. На первой ступени насос предварительного разрежения снижает давление среды в резервуаре или помещении до уровня предварительного разрежения, например до 200 мбар абс. На второй ступени запускается вакуумная воздуходувка нагнетательного действия, которая совместно с насосом предварительного разрежения достигает требуемого уровня вакуума или требуемого объемного расхода. Будущий оператор вакуумной установки (например, сталелитейный завод в Китае) должен сообщить изготовителю насосного агрегата (например, немецкому производителю агрегатов) следующие необходимые параметры.

  • Типоразмер откачиваемого помещения или резервуара.
  • Максимальный требуемый уровень вакуума (так называемая рабочая точка) или требуемый объемный расход.
  • Максимально возможное время откачки.

После получения этих данных производитель насосного агрегата совместно с компанией AERZEN выбирает подходящий насос предварительного разрежения и вакуумную воздуходувку.

Тесное сотрудничество

В качестве насоса предварительного разрежения в зависимости от применения может использоваться водокольцевой вакуум-насос, центробежный лопастной насос с масляной смазкой или регулируемый кулачковый вакуумный насос для инертных газов. Для применения в химической промышленности, где необходимо чрезвычайно высокое качество при откачке технологических газов, может потребоваться использование дорогостоящих винтовых вакуумных насосов. Имея многолетний опыт работы, компания AERZEN имеет в своем распоряжении большое количество документов на все системы насосов предварительного разрежения, может проконсультировать производителя насосного агрегата относительно выбора оптимальной системы насоса предварительного разрежения, а также в тесном сотрудничестве с производителем выбрать оптимальную вакуумную воздуходувку нагнетательного действия AERZEN.

Чтобы достичь параметров, установленных оператором насосного агрегата, насос предварительного разрежения и вакуумные воздуходувки AERZEN оптимально подбираются с учетом энергетических и тепловых свойств.

На рис. 1 показаны результаты теоретического расчета взаимодействия насоса предварительного разрежения (оранжевая линия) и вакуумной воздуходувки AERZEN серии GMa (зеленая линия) в составе двухступенчатого решения. Чтобы уменьшить время откачки, возможно применение многоступенчатых решений с одним насосом предварительного разрежения и несколькими последовательно работающими вакуумными воздуходувками. На оси x показаны диапазоны давления насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки. На оси y показан объемный расход. В этом примере сначала начинает работать насос предварительного разрежения. По достижении вакуума 200 мбар абс. запускается вакуумная воздуходувка AERZEN. До рабочей точки на уровне 1 мбар зеленая кривая имеет значительный подъем. В рабочей точке объемный расход агрегата составляет приблизительно 1750 м³/ч.

Два первых диапазона давления с критической температурой в этом теоретическом расчете можно скорректировать, изменив параметры в программе так, чтобы комбинация насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки AERZEN достигала и успешно работала в требуемой рабочей точке (1 мбар в этом примере).

Следуя этой процедуре, соблюдая температурные ограничения и используя наилучшую возможную комбинацию насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки, производитель насосного агрегата и AERZEN могут обеспечить соответствие параметрам насосного агрегата, установленным оператором. AERZEN предлагает…

для диапазона вакуума от 300 до 10 мбар
  • Вакуумные воздуходувки серии mHV с предварительным охлаждением на входе
для диапазона вакуума от 200 до 10-3 мбар (0,001 мбар)
  • Вакуумные воздуходувки серии HV
 для диапазона вакуума от 200 до 10-5 мбар (0,00001 мбар)
  • Вакуумные воздуходувки с герметичным приводом (так называемые герметичные воздуходувки) серий CM и HM.

Оптимальный выбор требуемой комбинации насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки позволяет создать экономичный насосный агрегат с длительным сроком службы и максимальной энергоэффективностью.

Вакуумные воздуходувки с предварительным охлаждением на входе (диапазон вакуума от 300 до 10 мбар)

AERZEN поставляет вакуумные воздуходувки с предварительным охлаждением на входе (так называемые воздуходувки с предварительным охлаждением) серии mHV 11 типоразмеров для теоретического номинального объема всасываемого потока от 250 до 61’000 м³/ч. Их максимально допустимое дифференциальное давление зависит от соответствующей тепловой нагрузки. Воздуходувки с предварительным охлаждением в основном используются в диапазонах низкого вакуума и отрицательного давления в качестве насоса предварительного разрежения или в диапазоне отрицательного давления относительно атмосферного для достижения высокого дифференциального давления на одной ступени, а также для достижения высокой степени сжатия в диапазоне низкого вакуума до p2/p1 = 5. Воздуходувки с предварительным охлаждением серии mHV предпочтительно использовать для непрерывной работы без перегрева. С этой целью в агрегат со стороны нагнетания подается атмосферный воздух или повторно охлажденный газ. Подача осуществляется через третий впускной канал без каких-либо клапанов, регуляторов и т. д. Если используется охлажденный газ, необходимо обеспечить его повторное охлаждение в воздушном или водяном охладителе газа, установленном между насосом предварительного разрежения и воздуходувкой с предварительным охлаждением. Фланцы корпуса воздуходувок с предварительным охлаждением оснащены кольцевыми уплотнениями. Система смазки разбрызгиванием обеспечивает подачу смазочного масла в вакуумные воздуходувки с предварительным охлаждением. Привод воздуходувок осуществляется от непосредственно присоединенного двигателя или через цилиндрическую зубчатую передачу. В случае ограниченного дифференциального давления используется узкий клиновой ремень. Герметичность нагнетательной камеры обеспечивается комбинированными лабиринтными уплотнениями со смазочным кольцом и поршневым кольцом. Герметичность приводного вала обеспечивается двойными радиальными уплотнительными кольцами с масляным барьером.

Воздуходувка GMa 10.2 HV с воздушным охлаждением использует вертикальное направление потока.

Вакуумные воздуходувки для диапазона среднего вакуума от 200 до 10

-3 мбар

Воздуходувки серии HV с воздушным охлаждением для диапазона вакуума от 200 до 10-3 мбар доступны в 12 типоразмерах для теоретического номинального объема всасываемого потока от 180 до 97’000 м³/ч (частота вращения от 3000 до 3600 об/мин). Воздуходувки с конструкцией GMa работают с вертикальным направлением потока. Воздуходувки с конструкцией GLa работают с горизонтальным направлением потока, что позволяет создавать чрезвычайно компактные агрегаты. Воздуходувки обеих конструкций используются в нанесении покрытий, химической технологии и технологии производства, в металлургической и консервной промышленности, в составе встроенных пылесосных систем, систем сжатия и обнаружения утечек гелия, в производстве ламп, трубок, оборудования для использования энергии солнца, в автомобильной промышленности. В определенных применениях для воздуходувок с воздушным охлаждением и смазкой разбрызгиванием можно использовать специальные уплотнения и особые варианты материалов, например для отливок иротационных поршней.

Благодаря стандартному приводу от двигателя с типом конструкции IE3 воздуходувки работают с высокой энергоэффективностью и могут использоваться на многих рынках, включая США, Канаду, Россию. Кроме того, их можно использовать с преобразователем частоты. Двигатели подсоединяются непосредственно к воздуходувкам с использованием фланцевого соединения. Специальное лабиринтное уплотнение со смазочным кольцом и поршневым кольцом предотвращает попадание масла из камер подшипников в нагнетательную камеру. Кроме того, воздуходувка оснащена большой нейтральной камерой с каналами для конденсата. Для усиления эффективности продувки нейтральную камеру можно продуть уплотнительным газом. В качестве уникальной возможности компания предлагает вакуумные воздуходувки серии HV, изготовленные с учетом требований директивы ATEX 94/9/EG. Они обеспечивают сопротивление скачку давления взрыва до 13 бар, работают без байпасного регулирования и являются единственными вакуумными воздуходувками, утвержденными для использования в зонах 0 (в помещении) и вне помещений с температурным классом T4. Для повышения безопасности процесса возможно отключение функции контроля ниже давления 50 мбар.

Герметичные воздуходувки для диапазона высокого вакуума от 200 до 10

-5 мбар

Герметичные воздуходувки AERZEN серии CM (для агрессивных газов) и HM (для инертных газов) поддерживают непрерывную работу и малое время откачки. Они используются в промышленной техники высокого вакуума в диапазоне от 200 до 10-5 мбар. Эти воздуходувки оснащаются герметичным приводом, уплотнение приводного вала которого осуществляется интегрированным герметичным двигателем без соединительного канала для ввода в атмосферу. Увеличение частоты вращение почти вдвое до 6000–7200 об/мин при том же типоразмере приводит к достижению очень коротких циклов откачки в пределах нескольких секунд.

Это позволяет значительно ускорить производственные процессы. Если для дополнительного повышения производительности в насосном агрегате используются два насоса предварительного разрежения и одна герметичная воздуходувка, агрегат все еще будет иметь компактную конструкцию. Это значительное преимущество позволяет успешно использовать агрегат в комплексных системах с несколькими насосными агрегатами. Доступны следующие герметичные воздуходувки AERZEN.

Тип конструкции CM для агрессивных газов
  • 14 типоразмеров для теоретического номинального объема всасываемого потока от 110 до 15’340 м³/ч.
Тип конструкции HM для инертных газов
  • 9 типоразмеров для теоретического номинального объема всасываемого потока от 406 до 15’570 м³/ч.

Эти системы используются для выработки вакуума в промышленных целях, например для химической технологии и технологии производства, нанесения пленок и стекловидных покрытий, извлечения водорода, в системах обнаружения утечек гелия, а также в случаях, где любые утечки неприемлемы. Кроме того, эти воздуходувки используются в полупроводниковой промышленности, в микроэлектронике, в производстве плоских экранов, в производстве лазерного оборудования и оборудования для солнечной энергетики. Воздуходувки могут работать с вертикальным и горизонтальным направлениями потока. Благодаря стандартному водяному охлаждению воздуходувки подходят для применения в условиях чистого помещения. Время откачки сокращается благодаря высокой механической прочности (до 230 мбар). Использование преобразователя частоты позволяет расширить диапазон регулирования (1:5) и применять воздуходувки меньшего размера. Возможность выбора разных вариантов двигателей для работы в сети, циклической и непрерывной работы позволяет найти индивидуальное решение даже для специализированных применений.

Выводы

Для вырабатывающего вакуум насосного агрегата отсутствуют готовые решения, так как параметры производительности насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки нагнетательного действия должны оптимально сочетаться.

Только после этого насосный агрегат сможет достигнуть требуемых оператору параметров и выбранной рабочей точки. Поэтому оптимальное решение можно получить только в тесном сотрудничестве компании AERZEN как поставщика требуемой вакуумной воздуходувки с производителем насосного агрегата, который приобретает насос предварительного разрежения и вакуумную воздуходувку у внешних поставщиков. Используя сложное программное обеспечение, AERZEN исследует комбинацию насоса предварительного разрежения и вакуумной воздуходувки AERZEN, выбранной производителем насосного агрегата. «Мы уделяем особое внимание уходу от диапазонов давления с критической температурой и достижению наиболее энергоэффективных переходов. AERZEN применяет подход, при котором производитель насосного агрегата получает информацию не только о применении технологического вакуума, но и о выборе комбинации оборудования для насосного агрегата».

Автор: Норберт Барлмейер, технический журналист в области компрессорного оборудования, Билефельд

Высокое качество PLC Автоматический высокий вакуум агломерации, вакуумные печи термообработки печи

&Vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&iecy; &kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&ocy; PLC &Acy;&vcy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&jcy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&icy;&jcy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &tcy;&iecy;&rcy;&mcy;&ocy;&ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

 
&Vcy;&vcy;&iecy;&dcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&acy; &scy; &pcy;&rcy;&ocy;&gcy;&rcy;&acy;&mcy;&mcy;&icy;&rcy;&ucy;&iecy;&mcy;&ycy;&mcy; &lcy;&ocy;&gcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&mcy; &kcy;&ocy;&ncy;&tcy;&rcy;&ocy;&lcy;&lcy;&iecy;&rcy;&ocy;&mcy; &acy;&vcy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&acy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &tcy;&iecy;&rcy;&mcy;&ocy;&ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

1800C &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&jcy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&ycy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&jcy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; Furance  &shcy;&icy;&rcy;&ocy;&kcy;&ocy; &icy;&scy;&pcy;&ocy;&lcy;&softcy;&zcy;&ucy;&yucy;&tcy;&scy;&yacy; &vcy; &mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&ocy;&kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy; &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tscy;&icy;&icy; &pcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&kcy;&ocy;&vcy;&ocy;&jcy; &mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&ucy;&rcy;&gcy;&icy;&icy;&comma; &ocy;&pcy;&tcy;&ocy;&ecy;&lcy;&iecy;&kcy;&tcy;&rcy;&ocy;&ncy;&ncy;&ycy;&khcy; &kcy;&ocy;&mcy;&pcy;&ocy;&ncy;&iecy;&ncy;&tcy;&ocy;&vcy;&comma; &zhcy;&iecy;&scy;&tcy;&kcy;&icy;&khcy; &scy;&pcy;&lcy;&acy;&vcy;&ocy;&vcy;&comma; &mcy;&acy;&gcy;&ncy;&icy;&tcy;&ncy;&ycy;&khcy; &scy;&pcy;&lcy;&acy;&vcy;&ocy;&vcy;&comma; &kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&kcy;&icy;&comma; &pcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&kcy;&ocy;&vcy;&ycy;&khcy; &mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;&ocy;&vcy; &icy; &dcy;&rcy;&ucy;&gcy;&icy;&khcy; &rcy;&iecy;&dcy;&kcy;&icy;&khcy; &icy; &mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&khcy; &mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;&ocy;&vcy;&comma; &ncy;&ocy; &icy; &dcy;&lcy;&yacy; &ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&lcy;&iecy;&tcy;&vcy;&ocy;&rcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &icy;&zcy;&ocy;&scy;&tcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy; &pcy;&rcy;&iecy;&scy;&scy;&ycy;&comma; &ncy;&acy;&zhcy;&acy;&vcy; &acy;&gcy;&lcy;&ocy;&mcy;&iecy;&rcy;&acy;&tscy;&icy;&icy; &kcy;&ocy;&mcy;&pcy;&ocy;&zcy;&icy;&tcy;&ncy;&ycy;&khcy; &kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&khcy; &mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;&ocy;&vcy; &icy;&zcy; &kcy;&acy;&rcy;&bcy;&icy;&dcy;&acy; &kcy;&rcy;&iecy;&mcy;&ncy;&icy;&yacy;&period;

&Fcy;&ucy;&ncy;&kcy;&tscy;&icy;&icy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&acy; &scy; &pcy;&rcy;&ocy;&gcy;&rcy;&acy;&mcy;&mcy;&icy;&rcy;&ucy;&iecy;&mcy;&ycy;&mcy; &lcy;&ocy;&gcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&mcy; &kcy;&ocy;&ncy;&tcy;&rcy;&ocy;&lcy;&lcy;&iecy;&rcy;&ocy;&mcy; &acy;&vcy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&acy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &tcy;&iecy;&rcy;&mcy;&ocy;&ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

1&period; &Pcy;&iecy;&chcy;&icy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &ocy;&tcy;&ocy;&pcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &kcy;&acy;&mcy;&iecy;&rcy;&acy; &scy; &kcy;&vcy;&acy;&dcy;&rcy;&acy;&tcy;&ncy;&ycy;&mcy; &dcy;&icy;&zcy;&acy;&jcy;&ncy; &dcy;&lcy;&yacy; &ocy;&bcy;&iecy;&scy;&pcy;&iecy;&chcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &khcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&iecy;&gcy;&ocy; &rcy;&acy;&vcy;&ncy;&ocy;&mcy;&iecy;&rcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&softcy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&ycy; &icy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&jcy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&ycy; &scy;&tcy;&acy;&bcy;&icy;&lcy;&softcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy;&semi;

2&period; &Ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&acy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&mcy;&icy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &icy; &pcy;&acy;&rcy;&tscy;&icy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &dcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &fcy;&ucy;&ncy;&kcy;&tscy;&icy;&icy;&semi;

3&period; &Pcy;&iecy;&chcy;&softcy; &ocy;&scy;&ncy;&acy;&shchcy;&iecy;&ncy;&acy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&ycy;&comma; &dcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &dcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &vcy;&ocy;&dcy;&ycy;&comma; &pcy;&ycy;&lcy;&iecy;&scy;&ocy;&scy;&acy; &icy; &dcy;&rcy;&ucy;&gcy;&icy;&khcy; &vcy;&zcy;&acy;&icy;&mcy;&ocy;&scy;&vcy;&yacy;&zcy;&acy;&ncy;&ncy;&ycy;&khcy; &fcy;&ucy;&ncy;&kcy;&tscy;&icy;&jcy; &scy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&jcy; &scy;&tcy;&iecy;&pcy;&iecy;&ncy;&softcy;&yucy; &ncy;&acy;&dcy;&iecy;&zhcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy; &zcy;&acy;&shchcy;&icy;&tcy;&ycy; &icy; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&ucy;&pcy;&rcy;&iecy;&zhcy;&dcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy;

4&period; &Scy; &pcy;&ocy;&mcy;&ocy;&shchcy;&softcy;&yucy; &pcy;&ucy;&lcy;&softcy;&tcy;&acy; &dcy;&icy;&scy;&tcy;&acy;&ncy;&tscy;&icy;&ocy;&ncy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &ucy;&pcy;&rcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &Pcy;&ucy;&lcy;&softcy;&tcy; &Dcy;&Ucy; &dcy;&icy;&acy;&gcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy;&kcy;&icy; &icy; &ucy;&dcy;&acy;&lcy;&iecy;&ncy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &ocy;&bcy;&ncy;&ocy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &pcy;&rcy;&ocy;&gcy;&rcy;&acy;&mcy;&mcy;&ycy; &icy; &dcy;&rcy;&ucy;&gcy;&icy;&iecy; &fcy;&ucy;&ncy;&kcy;&tscy;&icy;&icy;

&Tcy;&iecy;&khcy;&ncy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy; &pcy;&acy;&rcy;&acy;&mcy;&iecy;&tcy;&rcy;&ycy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&acy; &scy; &pcy;&rcy;&ocy;&gcy;&rcy;&acy;&mcy;&mcy;&icy;&rcy;&ucy;&iecy;&mcy;&ycy;&mcy; &lcy;&ocy;&gcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&mcy; &kcy;&ocy;&ncy;&tcy;&rcy;&ocy;&lcy;&lcy;&iecy;&rcy;&ocy;&mcy; &acy;&vcy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&acy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &tcy;&iecy;&rcy;&mcy;&ocy;&ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

 

&Tcy;&icy;&pcy; &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tcy;&acy;

HIQ-18VSF &scy;&iecy;&rcy;&icy;&icy;

&Mcy;&acy;&kcy;&scy;&icy;&mcy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&acy;&yacy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&acy;

1300 °C—2000ºC

&Kcy;&ocy;&ncy;&tcy;&rcy;&ocy;&lcy;&softcy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&ycy;

&Pcy;&rcy;&ocy;&gcy;&rcy;&acy;&mcy;&mcy;&icy;&rcy;&ucy;&iecy;&mcy;&ycy;&iecy; &icy; PID &acy;&vcy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&ocy;&iecy; &ucy;&pcy;&rcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy;

&Scy;&rcy;&iecy;&dcy;&ncy;&yacy;&yacy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&acy; &vcy;&ocy;&zcy;&dcy;&ucy;&khcy;&acy;

&pm;5

Max &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;

4&period;2×10-1&Pcy;&acy;——6&period;7×10-4Pa

&Rcy;&iecy;&lcy;&iecy; &pcy;&ocy;&gcy;&rcy;&ucy;&zhcy;&ncy;&ycy;&khcy; &pcy;&ocy;&dcy;&ocy;&gcy;&rcy;&iecy;&vcy;&acy;&tcy;&iecy;&lcy;&iecy;&jcy;

&Gcy;&rcy;&acy;&fcy;&icy;&tcy;&sol; Mo

  &Kcy;&acy;&mcy;&iecy;&rcy;&acy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

&Gcy;&rcy;&acy;&fcy;&icy;&tcy; &rcy;&iecy;&lcy;&iecy; &pcy;&ocy;&gcy;&rcy;&ucy;&zhcy;&ncy;&ycy;&khcy; &pcy;&ocy;&dcy;&ocy;&gcy;&rcy;&iecy;&vcy;&acy;&tcy;&iecy;&lcy;&iecy;&jcy; &icy; &gcy;&rcy;&acy;&fcy;&icy;&tcy;&ocy;&vcy;&ocy;&jcy; &scy;&chcy;&icy;&tcy;&acy;&iecy;&tcy; &ocy;&tcy;&ocy;&pcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &kcy;&ocy;&rcy;&ocy;&tcy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &zcy;&acy;&mcy;&ycy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&sol; Moly &ncy;&acy;&gcy;&rcy;&iecy;&vcy;&acy;&tcy;&iecy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&jcy; &ecy;&lcy;&iecy;&mcy;&iecy;&ncy;&tcy; &ocy;&tcy;&ocy;&pcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &icy; &kcy;&ocy;&rcy;&ocy;&tcy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &zcy;&acy;&mcy;&ycy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&period;

&Scy;&kcy;&ocy;&rcy;&ocy;&scy;&tcy;&softcy; &ncy;&acy;&rcy;&acy;&scy;&tcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &dcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy;

0&period;67Pa&sol;&chcy;

&Gcy;&acy;&zcy; &pcy;&ocy;&dcy; &dcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy;&mcy; quenching

2 &bcy;&acy;&rcy;

 

&Ocy;&scy;&ncy;&ocy;&vcy;&ncy;&ocy;&jcy; &rcy;&acy;&zcy;&mcy;&iecy;&rcy;  &Mcy;&mcy;

300×300×450 &mcy;&mcy;&comma;   400×400×600 &mcy;&mcy;&comma;   500×500×700 &mcy;&mcy;&comma; 600×600×900 &mcy;&mcy;&comma;   600×600×1200 &mcy;&mcy;    800×800×1200 &mcy;&mcy;1700×1700×3000 &mcy;&mcy;

&Ncy;&ocy;&mcy;&icy;&ncy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ocy;&iecy; &ncy;&acy;&pcy;&rcy;&yacy;&zhcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy;

3 &ecy;&tcy;&acy;&pcy;380V 50&sol;60&Gcy;&tscy;

 

&Vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &kcy;&acy;&tcy;&iecy;&gcy;&ocy;&rcy;&icy;&jcy; &icy; productable &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tcy;&ocy;&vcy;

&Vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &tcy;&icy;&pcy;&acy;

 

Productable  &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tcy;&ocy;&vcy;

HIQ &ucy;&ncy;&icy;&vcy;&iecy;&rcy;&scy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&jcy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&jcy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

&Pcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&ocy;&kcy;  

&Mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&ucy;&rcy;&gcy;&icy;&yacy;

&Mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy;  

&Mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;

&Kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy;  

&Mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;

&Mcy;&acy;&gcy;&ncy;&icy;&tcy;&ncy;&ycy;&iecy;  

&Mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;

&Kcy;&lcy;&iecy;&iecy;&vcy;&ocy;&gcy;&ocy;  

&Kcy;&acy;&rcy;&bcy;&icy;&dcy; &kcy;&rcy;&iecy;&mcy;&ncy;&icy;&yacy;

HIQ &icy;&zcy;&ocy;&scy;&tcy;&acy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy; &pcy;&rcy;&iecy;&scy;&scy;&ycy;&comma; &ncy;&acy;&zhcy;&acy;&vcy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

&Vcy;&ocy;&lcy;&softcy;&fcy;&rcy;&acy;&mcy;&ucy; &scy;&pcy;&lcy;&acy;&vcy;&acy;

&Vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&acy;&yacy; &pcy;&lcy;&ocy;&tcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&softcy; &scy;&pcy;&lcy;&acy;&vcy;&acy;

&Kcy;&lcy;&iecy;&iecy;&vcy;&ocy;&gcy;&ocy; &kcy;&acy;&rcy;&bcy;&icy;&dcy; &kcy;&rcy;&iecy;&mcy;&ncy;&icy;&yacy;

&Scy;&pcy;&iecy;&tscy;&icy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&jcy; &kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&kcy;&icy;

&Rcy;&iecy;&dcy;&kcy;&ocy;  

&Mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&ycy;  

&Pcy;&rcy;&icy; &ncy;&acy;&zhcy;&acy;&tcy;&icy;&icy; &kcy;&ncy;&ocy;&pcy;&kcy;&icy; &scy; &vcy;&ocy;&zcy;&mcy;&ocy;&zhcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&softcy;&yucy; &gcy;&ocy;&rcy;&yacy;&chcy;&iecy;&jcy; &zcy;&acy;&mcy;&iecy;&ncy;&ycy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&acy; HIQ &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

&Pcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&kcy;&ocy;&vcy;&ocy;&jcy; &mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&ucy;&rcy;&gcy;&icy;&icy;

&Kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy;  
&Mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;

 

 

 

 

&Vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&jcy; HIQ &vcy;&ycy;&scy;&ocy;&kcy;&acy;&yacy; &tcy;&iecy;&mcy;&pcy;&iecy;&rcy;&acy;&tcy;&ucy;&rcy;&acy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;

&Mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&jcy; &pcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&ocy;&kcy; &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tcy;&ycy;

 

&Ocy;&pcy;&tcy;&ocy;&ecy;&lcy;&iecy;&kcy;&tcy;&rcy;&ocy;&ncy;&ncy;&ycy;&khcy; &kcy;&ocy;&mcy;&pcy;&ocy;&ncy;&iecy;&ncy;&tcy;&ocy;&vcy;

&Kcy;&lcy;&iecy;&iecy;&vcy;&ocy;&gcy;&ocy; &kcy;&acy;&rcy;&bcy;&icy;&dcy; &kcy;&rcy;&iecy;&mcy;&ncy;&icy;&yacy;

&Mcy;&acy;&gcy;&ncy;&icy;&tcy;&ncy;&ycy;&iecy;  

&Scy;&pcy;&lcy;&acy;&vcy;&acy;

&Kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy;  

&Mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;

&Pcy;&ocy;&rcy;&ocy;&shcy;&kcy;&ocy;&vcy;&ycy;&iecy; &mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;&ycy;

&Rcy;&iecy;&dcy;&kcy;&ocy;  

&Mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&ycy;  

&Ocy;&gcy;&ncy;&iecy;&ucy;&pcy;&ocy;&rcy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &mcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&lcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &mcy;&acy;&tcy;&iecy;&rcy;&icy;&acy;&lcy;&acy;

 

&Icy;&ncy;&fcy;&ocy;&rcy;&mcy;&acy;&tscy;&icy;&yacy; &ocy; &kcy;&ocy;&mcy;&pcy;&acy;&ncy;&icy;&icy;

&Mcy;&ycy; &rcy;&iecy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&iecy; &icy; professional OEM &pcy;&rcy;&ocy;&mcy;&ycy;&shcy;&lcy;&iecy;&ncy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &vcy; &tcy;&iecy;&chcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; 10 &lcy;&iecy;&tcy;&comma; 10 &scy;&ocy;&tcy;&rcy;&ucy;&dcy;&ncy;&icy;&kcy;&ocy;&vcy; designer &icy; technican &ocy;&pcy;&ycy;&tcy;&ncy;&ycy;&khcy; &vcy; &tcy;&iecy;&chcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &mcy;&ncy;&ocy;&gcy;&icy;&khcy; &lcy;&iecy;&tcy;  

&Ocy;&scy;&ncy;&ocy;&vcy;&ncy;&acy;&yacy; &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tscy;&icy;&yacy;&colon;

&Lcy;&acy;&bcy;&ocy;&rcy;&acy;&tcy;&ocy;&rcy;&ncy;&acy;&yacy; &rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&acy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; muffle&comma; &tcy;&rcy;&ucy;&bcy;&ycy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;&comma; &acy;&tcy;&mcy;&ocy;&scy;&fcy;&iecy;&rcy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;&semi;

&Scy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&ocy;&lcy;&ocy;&gcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&acy;&yacy; &ocy;&bcy;&iecy;&dcy;&ncy;&iecy;&ncy;&ncy;&ocy;&jcy; &scy;&mcy;&iecy;&scy;&icy; &scy;&pcy;&iecy;&kcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &pcy;&iecy;&chcy;&acy;&khcy;&semi;

&Kcy;&iecy;&rcy;&acy;&mcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;&semi;

&Pcy;&rcy;&ocy;&mcy;&ycy;&shcy;&lcy;&iecy;&ncy;&ncy;&ycy;&iecy; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;&comma; &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; &tcy;&iecy;&rcy;&mcy;&ocy;&ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy;&semi;

&Vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&jcy; &pcy;&rcy;&iecy;&scy;&scy; &gcy;&ocy;&rcy;&yacy;&chcy;&iecy;&jcy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy;&semi;

&Pcy;&iecy;&chcy;&icy; quenching &vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &mcy;&acy;&scy;&lcy;&acy;&semi;

&Vcy;&acy;&kcy;&ucy;&ucy;&mcy;&ncy;&ycy;&iecy; &pcy;&iecy;&chcy;&icy; quenching &gcy;&acy;&zcy;&acy;&semi;

&Ncy;&acy;&shcy;&icy; &ucy;&scy;&lcy;&ucy;&gcy;&icy;

&Gcy;&acy;&rcy;&acy;&ncy;&tcy;&icy;&yacy;&colon;

·  &Ocy;&dcy;&icy;&ncy; &gcy;&ocy;&dcy;  &Mcy;&ycy; &ocy;&bcy;&iecy;&scy;&pcy;&iecy;&chcy;&icy;&vcy;&acy;&iecy;&tcy; &pcy;&ocy;&scy;&tcy;&ocy;&yacy;&ncy;&ncy;&ucy;&yucy; &pcy;&ocy;&dcy;&dcy;&iecy;&rcy;&zhcy;&kcy;&ucy; &tcy;&iecy;&khcy;&ncy;&ocy;&lcy;&ocy;&gcy;&icy;&icy;&period; &Gcy;&acy;&rcy;&acy;&ncy;&tcy;&icy;&jcy;&ncy;&ycy;&jcy; &scy;&rcy;&ocy;&kcy; &pcy;&ocy;&yacy;&vcy;&lcy;&yacy;&yucy;&tcy;&scy;&yacy; &pcy;&rcy;&ocy;&bcy;&lcy;&iecy;&mcy;&ycy; &scy; &kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&ocy;&mcy; &icy;&zcy;&ocy;&bcy;&rcy;&acy;&zhcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &bcy;&iecy;&scy;&pcy;&lcy;&acy;&tcy;&ncy;&ocy;&iecy; &pcy;&ocy;&dcy;&dcy;&iecy;&rcy;&zhcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy;&period; &Pcy;&ocy;&scy;&lcy;&iecy; &ocy;&kcy;&ocy;&ncy;&chcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &scy;&rcy;&ocy;&kcy;&acy; &gcy;&acy;&rcy;&acy;&ncy;&tcy;&icy;&icy; &ncy;&iecy;&ocy;&bcy;&khcy;&ocy;&dcy;&icy;&mcy;&ocy; &zcy;&acy;&mcy;&iecy;&ncy;&icy;&tcy;&softcy; &dcy;&iecy;&tcy;&acy;&lcy;&icy; &mcy;&ycy; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&ocy;&scy;&tcy;&acy;&vcy;&lcy;&yacy;&iecy;&mcy; &pcy;&ocy; &scy;&iecy;&bcy;&iecy;&scy;&tcy;&ocy;&icy;&mcy;&ocy;&scy;&tcy;&icy;&period;

·  &Lcy;&yucy;&bcy;&ocy;&jcy; &vcy;&ocy;&pcy;&rcy;&ocy;&scy;&comma; &mcy;&ycy; &mcy;&ocy;&zhcy;&iecy;&mcy; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&ocy;&scy;&tcy;&acy;&vcy;&icy;&tcy;&softcy; &vcy;&icy;&dcy;&iecy;&ocy; &icy;&ncy;&scy;&tcy;&rcy;&ucy;&kcy;&tscy;&icy;&icy;&comma; &dcy;&icy;&scy;&tcy;&acy;&ncy;&tscy;&icy;&ocy;&ncy;&ncy;&ocy;&iecy; &ocy;&bcy;&ucy;&chcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &vcy;&icy;&dcy;&iecy;&ocy; &icy;&lcy;&icy; &lcy;&iecy;&tcy;&iecy;&tcy;&softcy; &vcy; &vcy;&acy;&shcy;&iecy;&jcy; &scy;&tcy;&rcy;&acy;&ncy;&iecy;&period;  

·  &Lcy;&yucy;&bcy;&ycy;&iecy; &pcy;&rcy;&ocy;&bcy;&lcy;&iecy;&mcy;&ycy; &mcy;&ycy; &bcy;&ucy;&dcy;&iecy;&mcy; &ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&acy;&tcy;&ycy;&vcy;&acy;&tcy;&softcy; &vcy;&ocy; &vcy;&rcy;&iecy;&mcy;&yacy; &vcy; &tcy;&iecy;&chcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; 24 &chcy;&acy;&scy;&ocy;&vcy;

&Kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&ocy;&colon;

·  &Mcy;&ycy; &mcy;&ocy;&zhcy;&iecy;&mcy; &ocy;&chcy;&iecy;&ncy;&softcy; &pcy;&rcy;&ocy;&fcy;&iecy;&scy;&scy;&icy;&ocy;&ncy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&acy;&yacy; &kcy;&ocy;&mcy;&acy;&ncy;&dcy;&acy; QC &icy; &vcy;&scy;&iecy; &shcy;&acy;&gcy;&icy; &ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy; &mcy;&ycy; &bcy;&ucy;&dcy;&iecy;&mcy; &scy;&tcy;&rcy;&ocy;&gcy;&ocy; &ncy;&acy; &kcy;&acy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&ocy;&period;

·  &Ncy;&acy;&shcy;&acy; &pcy;&rcy;&ocy;&dcy;&ucy;&kcy;&tscy;&icy;&yacy; &bcy;&ucy;&dcy;&iecy;&tcy;  &Scy;&ocy;&ocy;&tcy;&vcy;&iecy;&tcy;&scy;&tcy;&vcy;&ocy;&vcy;&acy;&tcy;&softcy; &mcy;&iecy;&zhcy;&dcy;&ucy;&ncy;&acy;&rcy;&ocy;&dcy;&ncy;&ycy;&mcy; &scy;&tcy;&acy;&ncy;&dcy;&acy;&rcy;&tcy;&acy;&mcy; &icy; &icy;&mcy;&iecy;&iecy;&tcy; &scy;&iecy;&rcy;&tcy;&icy;&fcy;&icy;&kcy;&acy;&tcy; CE&period;

&Mcy;&ycy; &zcy;&ncy;&acy;&iecy;&mcy;&comma; &kcy;&acy;&kcy; &vcy;&acy;&zhcy;&ncy;&ocy; &dcy;&lcy;&yacy; &pcy;&ocy;&dcy;&dcy;&iecy;&rcy;&zhcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &ncy;&iecy;&pcy;&rcy;&iecy;&rcy;&ycy;&vcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy; &pcy;&rcy;&ocy;&icy;&zcy;&vcy;&ocy;&dcy;&scy;&tcy;&vcy;&acy;&period; &Mcy;&ycy; &vcy;&zcy;&yacy;&lcy;&icy; &ncy;&acy; &scy;&iecy;&bcy;&yacy; &ocy;&tcy;&vcy;&iecy;&tcy;&scy;&tcy;&vcy;&iecy;&ncy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&softcy; &zcy;&acy; &ncy;&acy;&dcy;&lcy;&iecy;&zhcy;&acy;&shchcy;&iecy;&iecy; &fcy;&ucy;&ncy;&kcy;&tscy;&icy;&ocy;&ncy;&icy;&rcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &vcy; &rcy;&iecy;&zcy;&ucy;&lcy;&softcy;&tcy;&acy;&tcy;&iecy; &chcy;&iecy;&gcy;&ocy; &vcy;&rcy;&iecy;&mcy;&yacy; &dcy;&lcy;&yacy; &zcy;&acy;&pcy;&ucy;&scy;&kcy;&acy; &vcy;&acy;&shcy;&iecy;&gcy;&ocy; &bcy;&icy;&zcy;&ncy;&iecy;&scy;&acy;&period;

&Ocy;&bcy;&scy;&lcy;&ucy;&zhcy;&icy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &vcy;&ocy; &vcy;&rcy;&iecy;&mcy;&yacy; &rcy;&acy;&zcy;&vcy;&acy;&lcy;&acy; &yacy;&vcy;&lcy;&yacy;&iecy;&tcy;&scy;&yacy; &ncy;&acy;&icy;&khcy;&ucy;&dcy;&shcy;&iecy;&jcy; &vcy;&ocy;&zcy;&mcy;&ocy;&zhcy;&ncy;&ycy;&iecy; &scy;&tscy;&iecy;&ncy;&acy;&rcy;&icy;&icy;&period; &Scy;&bcy;&ocy;&jcy; &scy;&icy;&scy;&tcy;&iecy;&mcy;&ycy; — &ecy;&tcy;&ocy; &ncy;&iecy;&ocy;&zhcy;&icy;&dcy;&acy;&ncy;&ncy;&ocy;&iecy;&comma; &vcy;&ycy;&zcy;&ycy;&vcy;&acy;&iecy;&tcy; &ucy;&dcy;&icy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&iecy; &icy; &vcy;&scy;&iecy;&gcy;&dcy;&acy; &vcy; &ncy;&iecy;&pcy;&ocy;&dcy;&khcy;&ocy;&dcy;&yacy;&shchcy;&iecy;&iecy; &vcy;&rcy;&iecy;&mcy;&yacy;&period;     Alarge  &Gcy;&ocy;&tcy;&ocy;&vcy; &kcy; &rcy;&iecy;&shcy;&iecy;&ncy;&icy;&yucy; &ecy;&tcy;&icy;&khcy; &scy;&icy;&tcy;&ucy;&acy;&tscy;&icy;&jcy;&period; &Vcy; &tscy;&iecy;&lcy;&yacy;&khcy; &pcy;&ocy;&vcy;&ycy;&shcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &ncy;&acy;&dcy;&iecy;&zhcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy; &ocy;&bcy;&scy;&lcy;&ucy;&zhcy;&icy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &vcy;&acy;&shcy;&iecy;&gcy;&ocy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &mcy;&ycy; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&lcy;&acy;&gcy;&acy;&iecy;&mcy; &kcy;&ocy;&mcy;&pcy;&lcy;&iecy;&kcy;&scy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &vcy;&scy;&pcy;&ocy;&mcy;&ocy;&gcy;&acy;&tcy;&iecy;&lcy;&softcy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &ocy;&bcy;&scy;&lcy;&ucy;&zhcy;&icy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&period;

&Pcy;&rcy;&ocy;&fcy;&iecy;&scy;&scy;&icy;&ocy;&ncy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&khcy; &tcy;&iecy;&khcy;&ncy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&khcy; &ucy;&scy;&lcy;&ucy;&gcy; &vcy; &pcy;&rcy;&ocy;&vcy;&icy;&ncy;&tscy;&icy;&icy; &KHcy;&ecy;&ncy;&acy;&ncy;&softcy;  HIQ &pcy;&iecy;&chcy;&icy; Co&period; LTD

&Vcy; &icy;&ncy;&zhcy;&iecy;&ncy;&iecy;&rcy;&ncy;&ocy;&jcy; &gcy;&rcy;&ucy;&pcy;&pcy;&ocy;&jcy;  HIQ &ocy;&bcy;&lcy;&acy;&dcy;&acy;&iecy;&tcy; &zcy;&ncy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&mcy;&icy; &icy; &ocy;&pcy;&ycy;&tcy;&ocy;&mcy; &vcy; &ucy;&pcy;&rcy;&acy;&vcy;&lcy;&iecy;&ncy;&icy;&icy; &fcy;&lcy;&ocy;&tcy;&ocy;&vcy; &tcy;&iecy;&pcy;&lcy;&ocy;&vcy;&ocy;&jcy; &ocy;&bcy;&rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&kcy;&icy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy; &vcy; &scy;&ocy;&ocy;&tcy;&vcy;&iecy;&tcy;&scy;&tcy;&vcy;&icy;&icy; &scy; &pcy;&lcy;&acy;&ncy;&ocy;&mcy; &icy; &pcy;&rcy;&ocy;&fcy;&iecy;&scy;&scy;&icy;&ocy;&ncy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&mcy; &ocy;&bcy;&rcy;&acy;&zcy;&ocy;&mcy; &ncy;&iecy;&zcy;&acy;&vcy;&icy;&scy;&icy;&mcy;&ocy; &ocy;&tcy; &icy;&zcy;&gcy;&ocy;&tcy;&ocy;&vcy;&icy;&tcy;&iecy;&lcy;&yacy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&period; &Mcy;&ycy; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&lcy;&acy;&gcy;&acy;&iecy;&mcy; &rcy;&iecy;&shcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &ncy;&ocy;&scy;&yacy;&tcy; &ucy;&ncy;&icy;&vcy;&iecy;&rcy;&scy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&jcy; &khcy;&acy;&rcy;&acy;&kcy;&tcy;&iecy;&rcy;&comma; &pcy;&ocy;&scy;&kcy;&ocy;&lcy;&softcy;&kcy;&ucy; &ocy;&ncy;&icy; &ocy;&scy;&ncy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&ycy; &ncy;&acy; &ncy;&acy;&icy;&lcy;&ucy;&chcy;&shcy;&icy;&khcy; &mcy;&iecy;&tcy;&ocy;&dcy;&ocy;&vcy; &dcy;&lcy;&yacy; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&ocy;&tcy;&vcy;&rcy;&acy;&shchcy;&iecy;&ncy;&icy;&yacy; &scy;&bcy;&ocy;&yacy; &vcy; &lcy;&ucy;&chcy;&shcy;&iecy;&mcy; &scy;&mcy;&ycy;&scy;&lcy;&iecy; &ecy;&tcy;&ocy;&gcy;&ocy; &scy;&lcy;&ocy;&vcy;&acy;&period;   &Pcy;&rcy;&ocy;&fcy;&iecy;&scy;&scy;&icy;&ocy;&ncy;&acy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&khcy; &tcy;&iecy;&khcy;&ncy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&khcy; &ucy;&scy;&lcy;&ucy;&gcy;&comma; &pcy;&rcy;&iecy;&dcy;&ocy;&scy;&tcy;&acy;&vcy;&lcy;&yacy;&iecy;&mcy;&ycy;&khcy;  HIQ  &Bcy;&ocy;&lcy;&iecy;&iecy; &chcy;&iecy;&mcy; &ncy;&acy; &rcy;&iecy;&mcy;&ocy;&ncy;&tcy; &vcy; &scy;&lcy;&ucy;&chcy;&acy;&iecy; &scy;&bcy;&ocy;&yacy;&period;   &Mcy;&ycy; &pcy;&ocy;&ncy;&icy;&mcy;&acy;&iecy;&mcy;&comma; &kcy;&acy;&kcy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy; &rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&acy;&iecy;&tcy; &icy; &mcy;&ycy; &ucy;&vcy;&iecy;&lcy;&icy;&chcy;&icy;&tcy;&softcy; &vcy;&rcy;&iecy;&mcy;&yacy; &bcy;&iecy;&scy;&pcy;&iecy;&rcy;&iecy;&bcy;&ocy;&jcy;&ncy;&ocy;&jcy; &rcy;&acy;&bcy;&ocy;&tcy;&ycy; &scy; &pcy;&ocy;&mcy;&ocy;&shchcy;&softcy;&yucy; &acy;&vcy;&tcy;&ocy;&mcy;&acy;&tcy;&icy;&zcy;&icy;&rcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&ncy;&ocy;&gcy;&ocy; &pcy;&rcy;&ocy;&tscy;&iecy;&scy;&scy;&acy; &tcy;&iecy;&khcy;&ncy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&ocy;&gcy;&ocy; &ocy;&bcy;&scy;&lcy;&ucy;&zhcy;&icy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy;&comma; &kcy;&ocy;&tcy;&ocy;&rcy;&ocy;&iecy; &pcy;&ocy;&dcy;&dcy;&iecy;&rcy;&zhcy;&icy;&vcy;&acy;&iecy;&tcy; &acy;&rcy;&khcy;&icy;&tcy;&iecy;&kcy;&tcy;&ucy;&rcy;&ucy; &ocy;&bcy;&ocy;&rcy;&ucy;&dcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&yacy; &icy; &tcy;&iecy;&khcy;&ncy;&ocy;&lcy;&ocy;&gcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&khcy; &rcy;&iecy;&shcy;&iecy;&ncy;&icy;&jcy;&comma; &vcy; &tcy;&ocy;&mcy; &chcy;&icy;&scy;&lcy;&iecy;  &Rcy;&iecy;&mcy;&ocy;&ncy;&tcy;&comma; &mcy;&ocy;&dcy;&iecy;&rcy;&ncy;&icy;&zcy;&acy;&tscy;&icy;&yacy; &icy; &ocy;&bcy;&scy;&lcy;&ucy;&zhcy;&icy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy;&period;     Alarge  &Pcy;&rcy;&ocy;&vcy;&ocy;&dcy;&icy;&tcy; &pcy;&rcy;&ocy;&fcy;&icy;&lcy;&acy;&kcy;&tcy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&kcy;&icy;&iecy; &ocy;&scy;&mcy;&ocy;&tcy;&rcy;&ycy; &icy; &pcy;&ocy;&scy;&lcy;&iecy;&dcy;&ucy;&yucy;&shchcy;&iecy;&gcy;&ocy; &pcy;&rcy;&icy;&ncy;&yacy;&tcy;&icy;&yacy; &pcy;&rcy;&iecy;&vcy;&iecy;&ncy;&tcy;&icy;&vcy;&ncy;&ycy;&khcy; &mcy;&iecy;&rcy; &scy; &icy;&scy;&pcy;&ocy;&lcy;&softcy;&zcy;&ocy;&vcy;&acy;&ncy;&icy;&iecy;&mcy; &pcy;&iecy;&rcy;&iecy;&dcy;&ocy;&vcy;&ycy;&khcy; &icy;&ncy;&scy;&tcy;&rcy;&ucy;&mcy;&iecy;&ncy;&tcy;&ocy;&vcy; &vcy; &ocy;&bcy;&lcy;&acy;&scy;&tcy;&icy; &ucy;&chcy;&iecy;&tcy;&acy; &icy; &ocy;&tcy;&chcy;&iecy;&tcy;&ncy;&ocy;&scy;&tcy;&icy;&period;

&Vcy;&acy;&mcy; &bcy;&ocy;&lcy;&softcy;&shcy;&iecy; &ncy;&iecy; &pcy;&rcy;&icy;&dcy;&iecy;&tcy;&scy;&yacy; &bcy;&iecy;&scy;&pcy;&ocy;&kcy;&ocy;&icy;&tcy;&softcy;&scy;&yacy; &ocy; &tcy;&ocy;&mcy; &vcy;&rcy;&iecy;&mcy;&iecy;&ncy;&icy; &pcy;&rcy;&ocy;&scy;&tcy;&ocy;&iecy;&vcy; &icy; &dcy;&ocy;&pcy;&ocy;&lcy;&ncy;&icy;&tcy;&iecy;&lcy;&softcy;&ncy;&ycy;&khcy; &rcy;&acy;&scy;&khcy;&ocy;&dcy;&ocy;&vcy;&period;

HIQ  &Ucy;&scy;&lcy;&ucy;&gcy;&icy; &dcy;&ocy;&scy;&tcy;&ucy;&pcy;&ncy;&ycy; &kcy;&rcy;&ucy;&gcy;&lcy;&ocy;&scy;&ucy;&tcy;&ocy;&chcy;&ncy;&ocy;&comma; 7 &dcy;&ncy;&iecy;&jcy; &vcy; &ncy;&iecy;&dcy;&iecy;&lcy;&yucy;&period;

&Rcy;&acy;&scy;&scy;&chcy;&icy;&tcy;&ycy;&vcy;&acy;&iecy;&mcy; &ncy;&acy; &ncy;&acy;&shcy;&iecy; &pcy;&lcy;&ocy;&dcy;&ocy;&tcy;&vcy;&ocy;&rcy;&ncy;&ocy;&iecy; &scy;&ocy;&tcy;&rcy;&ucy;&dcy;&ncy;&icy;&chcy;&iecy;&scy;&tcy;&vcy;&ocy;&excl;

Вакуум высокий — Энциклопедия по машиностроению XXL

В дальнейшем появились манипуляторы с большим числом звеньев и кинематических пар, и внешнее сходство с рукой человека стало утрачиваться, но во всех вариантах сохранилось назначение манипулятора— воспроизводить пространственные движения рук человека. Копирующие манипуляторы применяются теперь во многих областях техники для выполнения операций в условиях, исключающих возможность присутствия человека возле обрабатываемого или перемещаемого изделия (радиоактивность, вакуум, высокая тем-  [c.262]
В электронно-лучевой печи можно получать очень чистую медь вследствие отгонки примесей в вакууме высокого разрежения и воздействия его на тонкую струю расплавленной меди. Последовательность кристаллизации обеспечивает получение плотных слитков без усадочной рыхлости, с высокой пластичностью даже после холодной прокатки (см. выше). Недостаток метода — возгонка меди, которая в довольно значительном количестве оседает на стенках печи.  [c.41]

Трение и износ в экстремальных условиях (вакуум, высокие температуры). При работе узлов трения в различных машинах в ряде случаев возникают специфические условия, при которых нарушается обычный характер взаимодействия поверхностей.  [c.253]

Создание твердых смазочных покрытий с высокой износостойкостью для экстремальных условий применения (очень низкие температуры, вакуум, высокие ударные перегрузки), которые не могут быть обеспечены жидкими и даже пластичными смазками.[c.111]

Разработанные само смазывающиеся материалы нашли применение в машиностроении, приборостроении в виде сепараторов подшипников качения в подшипниках скольжения, шестерен редукторов сухого трения, в виде покрытий для направляющих станков с программным управлением (повышение износостойкости станин, снижение автоколебаний, улучшение класса частоты обрабатываемой детали), в виде подмазывающих элементов при горячей прокатке тугоплавких металлов в вакууме. Высокая технологичность разработанных материалов особенно ЭДМА и НАСПАН, а также то, что для изготовления деталей трения не требуется специальных линий, сложной технологической оснастки, все больше привлекает внимание промышленности.  [c.201]

С ростом Т вакуум (состояние с нулевыми значениями квантовых чисел, отвечающих зарядам, ароматам и т. п.) заполняется излучением и парами частица—античастица с массами, не превышающими величины Т. Особые фазовые переходы связаны с имеющимися в вакууме конденсатами частиц Хиггса (см. Хиггса механизм), ведущими к появлению у частиц отличной от нуля массы и тем самым к расщеплению эл.-магн., слабых и сильных взаимодействий (см. Вакуумный конденсат). При первом фазовом переходе исчезает один из конденсатов, пропадает различие между слабым и зл.-магн. взаимодействиями и возникает, в частности, дальнодействие слабого взаимодействия (оно проявляется в том, что нейтрино столь же сильно тормозится в веществе, как и электрон). При втором фазовом переходе, происходящем при существенно больших темп-рах, исчезает и второй конденсат, в результате чего восстанавливается симметрия всех трёх типов взаимодействия, включая сильное. Теоретич. результат воздействия на вакуум высокого давления качественно зависит от физ. условий и принятой модели квантовой теории поля.  [c.507]


Для подшипников, работающих в экстремальных условиях (вакуум, высокие температуры, агрессивные среды), применяют  [c.456]

Для подшипников, работающих в условиях, при которых жидкие и пластичные смазочные материалы неприменимы (например, вакуум, высокие и низкие температуры, агрессивные среды, радиоактивное излучение, оборудование пищевой и тек-  [c. 155]

II — с повышенными магнитными свойствами III — с высокими магнитными свойствами. Соответственно нормальное качество обеспечивается выплавкой в открытых печах, повышенное — в вакууме высокое — в вакуумных индукционных печах с последующими переплавами.  [c.536]

Для подшипников, работающих в условиях, при которых жидкие и пластичные смазочные материалы неприменимы (например, вакуум, высокие и низкие температуры, агрессивные среды, радиоактивное излучение, оборудование пищевой и текстильной промышленности, оптические системы), используют твердые смазочные материалы.  [c.292]

На рис. 63 показана зависимость пробивного напряжения и пробивной напряженности от расстояния между электродами, помешенными в высокий вакуум. Высокую пробивную напряженность вакуума  [c.102]

На фиг. 45 показана зависимость пробивного напряжения и пробивной напряженности от расстояния между электродами, помещенными в высокий вакуум. Высокую пробивную напряженность вакуума используют в технике при конструировании вакуумных конденсаторов для больших напряжений высокой частоты.  [c.89]

Еще в 1922 г. О. В. Лосев предложил прибор под названием кристадин, который позволил усиливать колебания и был прототипом теперешних триодов. Широкое использование этого открытия не могло быть тогда осуществлено вследствие слишком слабых сведений по теории полупроводников. Сейчас полупроводниковые германиевые и кремниевые триоды широко используются в различных схемах и устройствах взамен электронных ламп, по сравнению с которыми они имеют ряд преимуществ отсутствие цепей накала, позволяющее вступать в работу сразу после включения, очень малое собственное потребление энергии, малые размеры, отсутствие потребности в вакууме, высокая стойкость К воздействию ударов и вибраций. К числу недостатков  [c.333]

С развитием новой техники выдвигаются принципиально новые требования к работе узлов трения, связанные с функционированием в условиях вакуума, высоких и низких температур, агрессивных сред и т. п. Почти нет предприятий, технических научных и учебных учреждений, где бы не занимались вопросами надежности и повышения сроков службы эксплуатируемой и создаваемой техники. Повышение надежности и долговечности машин, механизмов и приборов имеет общегосударственное значение. Основное место в этой сложной и комплексной проблеме занимают вопросы трения, смазки и износа.  [c.5]

К системам терморегулирования) испарительное охлаждение оказывается не только единственным, но и оптимальным вариантом. При космических условиях наиболее полно раскрываются достоинства испарительного охлаждения высокая эффективность охлаждения, связанная с интенсивным испарением в вакууме высокая экономичность благодаря сильному эндотермическому эффекту фазового перехода нетребовательность к предварительной температурной подготовке охладителя отсутствие необходимости в специальных системах подачи охладителя, так как в условиях невесомости капиллярный потенциал подвода жидкого охладителя к охлаждаемой поверхности теоретически неограничен. Следует отметить универсальность испарительного охлаждения оно применимо как для внешней тепловой защиты и для сброса внутренней тепловой энергии в отдельности, так и для комплексного охлаждения. Кроме того, испарительное охлаждение легко поддается автоматическому управлению путем дозирования подачи охладителя.  [c.441]

Они состоят по существу из катода, из которого испускаются электроны, и мишени (антикатода, или анода), в котором эти электроны поглощаются, заставляя его тем самым испускать рентгеновские лучи. В некоторых случаях эти трубки имеют также много промежуточных электродов для ускорения потока электронов. Эти электроды устанавливаются в трубке или контейнере, обычно из стекла, с соответствующими электрическими контактами. Трубка часто устанавливается в электрически изолированном металлическом контейнере, заполненном маслом. Иногда трубка заполняется газом, но чаще в ней поддерживается вакуум высокой степени.  [c.135]


Ковар P( L (960° ) Ag в вакууме высокой частотой (см. 4-2) )  [c.563]

Подшипники скольжения используются в СММ в тех случаях, когда по условиям работы не могут быть применены подшипники качения (среды, не допускающие присутствия смазок, вакуум, высокие температуры и т. д.). Широкое распространение для изготовления подшипников скольжения получили антифрикционные спеченные и углеродные материалы.  [c.344]

Следует иметь все это в виду при рассмотрении находящихся в нашем распоряжении данных об излучательной способности высокотемпературных покрытий. Большая часть измерений была выполнена на воздухе или в инертной среде однако, чтобы дать информацию для космического применения, желательно проводить такие измерения в вакууме. Высокий вакуум в космосе может вызвать сублимацию с последующим изменением структуры и излучательной способности поверхности. Данные измерения полусферической общей излучательной способности в воздухе могут также значительно отличаться от данных, полученных в вакууме, если спектральная излучательная способность образца обладает заметной неравномерностью в области края поглощения атмосферы. Особенно неприятны в этом отношении органические покрытия.  [c.305]

Электронно-лучевая сварка (рис. 11) осуществляется путем использования кинетической энергии концентрированного потока электронов, движущихся с большой скоростью в вакууме. Высокий вакуум в сварочной камере значительно снижает потери кинетической энергии электронов и обеспечивает химическую и тепловую защиту катода и свариваемого изделия. Раскаленный вольфрамовый катод, размещенный в фокусирующей головке, излучает поток электронов. Под действием высокого напряжения (30—100 кВ) между катодом и ускоряющим электродом (анодом) поток электронов приобретает значительную кинетическую энергию. Магнитной линзой поток электронов фокусируется в узкий луч, который с помощью магнитной отклоняющей системы направляется точно на свариваемые кромки изделия. Питание установки осуществляется высоковольтным источником постоянного тока.  [c.41]

Радикальным средством уменьшения указанных элементов и неметаллических включений в металле является выплавка или разливка металла в вакууме. Вакуумированный металл обладает более высокими свойствами вследствие высокой чистоты по неметаллическим включениям и отсутствия (практически) растворенных атомов водорода, азота и кислорода.  [c.190]

Плавильные электропечи имеют преимущества по сравнению с другими плавильными агрегатами, так как в них можно получать высокую температуру металла, создавать окислительную, восстановительную, нейтральную атмосферу и вакуум, что позволяет выплавлять сталь любого состава, раскислять металл с образованием минимального количества неметаллических включений — продуктов раскисления. Поэтому электропечи используют для выплавки конструкционных, высоколегированных, инструментальных, специальных сталей и сплавов.  [c.37]

Приведенные двухчленные выражения для силы и коэффициента трения применимы как в случаях трения без смазочного материала, так и при смазывании трущихся поверхностей. Многие исследователи (Хольм, Стренг, Льюис и др.) считают, что составляющая силы трения, обусловленная пластической деформацией (механическим взаимодействием) поверхностей, равна нескольким процентам от суммарной силы трения. Этот вывод подтверждается результатами исследования трения поверхности в вакуумной камере, которые показывают, что при трении в вакууме высокое значение силы трения обусловлено молекулярной составляющей.  [c.68]

Сталь ВЖЛ10 благодаря наличию титана и присадок тугоплавких элементов используют для изготовления цельнолитых роторов, работающих кратковременно при температурах до 800° С. Отливки получают методом точного литья в вакууме, шихта для литья также должна быть выплавлена в вакууме. Высокая жаропрочность обеспечивается термической обработкой, состоящей из закалки и двойного старения.  [c.213]

Обширная и крайне актуальная сфера применения капиллярно-пористых материалов открывается в связи с решением вопросов, возникающих при освоении космического пространства. При этом наибЬлее существенными являются проблемы, связанные с поддержанием оптимальных температурных условий функционирования различных устройств и элементов космического корабля. По существу, решение этих вопросов заключается в разработке способов отвода тепловой энергии, генерируемой внутри корабля, и сброса ее в окружающее пространство. Если в обычных земных условиях способы охлаждения путем вдува газов и испарения жидкости в известной мере равноценны, то в специфических условиях космоса (гл бокий вакуум, состояние невесомости, жесткие требования к системам терморегулирования) испарительное охлаждение оказывается не только единст- венным, но и оптимальным вариантом. При космических условиях наиболее полно раскрываются достоинства испарительного охлаждения высокая эффективность охлаждения, связанная с интенсивным испарением в вакууме высокая экономичность благодаря сильному эндотермическому эффекту фазового перехода нетребовательность к предварительной температурной подготовке охладителя отсутствие необходимости в специальных системах подачи охладителя, так как в условиях невесомости капиллярный потенциал подвода жидкого охладителя к охлаждаемой поверхности теоретически неограничен. Следует отметить универсальность испарительного охлаждения оно применимо как для внешней тепловой защиты и для сброса внутренней тепловой энергии в отдельности, так и для комплексного охлаждения. Кроме того, испарительное охлаждение легко поддается автоматическому управлению путем дозирования подачи охладителя.  [c.375]


В ряде случаев осуществляется работа подшипников в режиме трения без смазки. Это диктуется соответствующими конструктивными параметрами агрегатов и условиями работы (вакуум, высокий уровень нагрева и др.). Иногда трение без смазки является следствием аварийного состояния три-босистемы, возникающего при резком увеличении нагрузки, прекращении поступления смазки и по другим причинам. При трении без смазки сравнительно устойчивая работа достигается использованием антифрикционных материалов, содержащих твердые смазки и мягкие структурные составляющие и обладающих свойствами самосма.1ы-вания (например, металлофторопластового материала, алюминиево-оловянного сплава и т. п.).  [c.135]

Вакуумная керамика отличается малым газовыделен нем в вакууме, высокой нагревостойкостью и высокими диэлектрическими свойствами.  [c.218]

Условия испытаний на ПМТ ВВ (вакуум, высокая нагрузка, малая доза заправки) сходны с условиями испытаний на приборе Трибохим . В то же время можно полагать, что зависимость между трибостабильностью смазочных материалов и их работоспособностью в узле трения ПМТ ВВ неоднозначна. Более высокие температуры испытаний на ПМТ ВВ (150-250 °С) приводят к ускорению не только трибохимических превращений, но и физических процессов, протекающих в смазочных материалах. Намного выше здесь,  [c.131]

Очистку щелочных металлов методом дистилляции необходимо вести в вакууме. Высокое давление насыщенных паров и низкая точка плавления позволяют применять стеклянную аппаратуру (лучше всего из иенского стекла или пайрекса). Необходимо прини.мать во внимание, что щелочные металлы, особенно в нагретом состоянии, сильно действуют на свинцовые стекла (см. 10-2-ХХ). Щелочные металлы можно хранить только без доступа кислорода воздуха, т. е. под защитой слоя жидкости или в очищенном состоянии в откачанных стеклянных ампулах. Имеющие наибольшее значение для вакуумной техники свойства щелочных металлов приведены в табл. 8-3-1.  [c.411]

Ковар Монель L (870 ) Ag u (50/50) в вакууме высокой частотой )  [c.563]

Ковар Монель L (779 ) Ag u (72/28) -припой в вакууме высокой частотой (см. рис. 5-6-12 и [Л. 69]) )  [c.563]

Конструкции фланцевых соединений с кольцевой прокладкой-из фторопласта аналогичны замковым соединениям с прокладками из вакуумной резины. Благодаря малому газоотделению уплотнения с фторопластовой прокладкой могут быть применены в установках на стороне высокого вакуума. Высокие электроизоляционные свойства и более значительная по сравнению с резиной температурная стойкость делают фторопласт незаменимым материалом для уплотнения и изоляции токоподводящих деталей в различных промышленных высоковакуумных установках.[c.62]

Для сварки тугоплавких и активных металлов, часто выполняемой вольфрамовым электродом, для улучшения защиты нагретого и расплавленного металлов от возможного подсоса в зону сварки воздуха используют специальные камеры (сварка в контролируемой атмосфере). Небольшие детали помещают в специальные камеры, откачивают воздух до создания вакуума до 10 мм рт. ст. и заполняют ипертпыи газом высокой чистоты. Сварку выполняют  [c.45]

Сущность II техника спарки электронным лучом. Сущность процесса состоит в использовании кинетической энергии потока электронов, движуп1ихся с высокими скоростями в вакууме Для умоиыиения потери кинетической энергии электронов за счет соударения с молекулами газов воздуха, а также для хими ческой и тепловой защиты катода в электронной пушке создают вакуум пор>гдка 10 —10″ мм рт. ст.  [c.67]

Для фиксирования положения границ аустенитного зерна [фименяют разные способы, например замедленное охлаждение, способствующее выделению по этим границам избыточных фаз (феррита, цементита и др. ) длительный нагрев, вызывающий проникновение кислорода вглубь по границам зерен, м образование сетки из окислов, специальные методы травления мартенсита травление в вакууме ири высокой температуре,, при которой растравливаются лишь границы.  [c.240]

Тугоплавкие металлы широко применяют для работы при высоких температурах, но не в окислительной среле, а н вакууме, водороде, в инертных газах.  [c.534]

При вакуумной индукционной плавке индуктор с тиглем, дозатор шихты и изложницы помещают в вакуумные камеры. Плавка, введение легирующих добавок, раскнслителей, разливка металла в изложницы производятся без нарушения вакуума в камере. Таким способом получают сплавы высокого качества с малым содержанием газов, неметаллических включений, сплавы, легированные любыми элементами.  [c.41]


Высокий вакуум, масс-спектрометрическое — Справочник химика 21

    Когда разрабатывали газовую хромато-масс-спектрометрию, ГХ-разделения проводили на набивных колонках со скоростями потока порядка 60 мл/мин и выше. Такая скорость потока несовместима с высоким вакуумом масс-спектрометрической системы. Решающим моментом коммерческого успеха гибридных ГХ-МС-систем было создание подходящего интерфейса, позволяющего преодолеть зто ограничение. Требования к интерфейсу состоят в следующем возможность снижения объемной скорости потока с ГХ-колонки до такого уровня, чтобы можно было поддерживать высокий вакуум масс-анализатора селективное отделение газа-носителя сохранение ненарушенными результатов хроматографического разделения. [c.600]
    Сочетание газовой хроматографии с масс-спектрометрическим детектированием требует введения анализируемой пробы, находящейся при атмосферном давлении, в высокий вакуум масс-анализатора. [c.599]

    Масс-спектрометрический течеискатель — наиболее чувствительный прибор этого типа. Он универсален, позволяет контролировать изделия любых габаритов, реализовать все схемы контроля, рассмотренные в 3. 2. Эти обстоятельства способствуют его широкому применению. В то же время масс-спектрометр довольно сложный и громоздкий прибор, требует вакуума для своей работы. Если нет необходимости в достижении высокой чувствительности, масс-спектрометрический метод течеискания заменяют другими более простыми. Его работа основана на разделении ионов различных газов по массовому числу (отношению их массы к заряду). Масс-спектрометр (рис. 3.3) содержит следующие основные узлы ион- [c.83]

    Масс-спектрометрический анализ проводится в условиях высокого вакуума. [c.258]

    Газопроницаемость полимерных материалов может быть определена масс-спектрометрическим методом анализа газа. Диффузионная ячейка состоит из двух камер, разделенных испытуемой пленкой, причем одна из камер соединяется с резервуаром, содержащим исследуемый газ, а вторая камера — с ионным источником масс-спектрометра. Перед началом эксперимента в ячейке создается высокий вакуум (остаточное давление порядка ЫО мм рт. ст.). Газ, диффундирующий через пленку, поступает в ионный источник масс-спектрометра. Скорость его поступления непрерывно регистрируется самописцем в виде зависимости силы ионного тока от времени. Стационарное состояние переноса газа через мембрану характеризуется постоянством величины ионного тока. [c.253]

    При анализе в статическом режиме с использованием системы прямого ввода пробы термическая десорбция образца может проводиться с инертной или каталитически активной поверхности. Десорбция с инертного носителя в зависимости от термической устойчивости анализируемого вещества приводит либо к его испарению (разрыв межмолекулярных связей), либо к разложению (разрыв внутримолекулярных связей). Приближение образца к зоне ионизации, сочетание высокого вакуума с относительно невысокой температурой (150-350 С) позволяет сократить продолжительность пребывания ионов в зоне десорбции до 10″ с и регистрировать масс-спектр крупных фрагментов, образующихся в результате разложения образца [8]. При десорбции с активной поверхности хемосорбированные молекулы под действием температуры подвергаются химическим превращениям, и объектами масс — спектрометрического анализа становятся продукты реакции и непрореагировавшие исходные соединения. [c.142]


    Технология контроля галогенным течеискателем значительно проще, чем масс-спектрометрическим. Галогенный течеискатель сравнительно несложный, легкий прибор, не требует обязательного вакуума для своей работы. Воздух, захватываемый щупом, почти Не снижает чувствительности. Галогенный метод, так же как масс-спектрометрический, позволяет вести контроль по различным схемам. Галогенный метод применяют довольно часто, когда не требуется высокая чувствительность. Недостатки этого метода — возможность отравления чувствительного элемента и повышенный фон, требующий тщательной вентиляции помещения. [c.92]

    Масс-спектрометрический анализ. Этот вид анализа еще не получил достаточно широкого распространения при исследовании проницаемости полимеров ввиду сложного аппаратурного оформления. Тем не менее высокая чувствительность [до 10 кг/(м-с) по СН4], а также возможность создавать вакуум с остаточным разрежением до 1,3-Ю Па, обусловливают перспективность этого метода анализа, особенно для паров низкомолекулярных жидкостей. Достоинством анализа является возможность оценки суммарной проницаемости смесей паров и исследование процессов переноса паров через малопроницаемые полимерные образцы. [c.195]

    Число обнаруженных масс-спектрометрическим методом в газовой фазе молекул гидратов окислов невелико, главным образом, из-за их высокого давления диссоциации. При испарении в высоком вакууме удалось наблюдать только самые устойчивые молекулы, и, в первую очередь, гидроокиси поблочных металлов [5, 29]. Потенциалы ионизации и термодинамические величины имеются в справочнике [19], поэтому здесь не обсуждаются. [c.107]

    Широкое применение в химической кинетике находит масс-спектрометрический метод. Непосредственным об1 ектом регистрации в масс-спектрометрах являются ионы в высоко. м вакууме. Молекулярный пучок ионов, ускоренный полем в несколько киловольт, попадает далее в магнитное поле, где ионы с различным отношением массы к заряду (т/е) в различной степени отклоняются от прямоли- ейной траектории и регистрируются в виде отдельных узких пиков, интенсивность которых пропорциональна содержанию соответствующих ионов в исходном пучке. Набор этих пиков и представляет собой масс-спектр. [c.44]

    Масс-спектрометрические анализаторы предназначены для качественного или количественного определения состава и структуры жидких и газообразных веш,еств методом разделения компонентов смеси в вакууме под воздействием магнитных и электрических полей В условиях высокого разрежения, порядка 1,3 -10 — 1,3 -10 Па (10-е—10″ мм рт. ст.), молекулы или атомы анализируемых веществ подвергаются ионизации, в результате чего образуются положительно заряженные ионы, которые затем разделяются по своим массовым» числам. Величина ионного тока служит мерой концентрации соответствующего компонента в исследуемой смеси.[c.165]

    В масс-спектрометрах, предназначенных для анализа органических соединений, ионизация молекул вещества происходит в газовой фазе в условиях высокого вакуума. Следовательно, образцы перед ионизацией должны быть переведены в парообразное состояние, если, разумеется, их исходное состояние не было газообразным. Это обстоятельство налагает ограничения на масс-спектрометрию как метод анализа вещества, которые без разложения не могут создать упругость паров в пределах 10 —Ю Па, оказываются непригодными для прямого масс-спектрометрического анализа.  [c.279]

    Баллон масс-спектрометрической трубки присоединен к устройству для пол чения высокого вакуума. Это устройство имеет фор-вакуумный масляный насос, присоединенный к ртутному диффузионному насосу, который и создает высокий вакуум в присоединенной через ловушку 3 трубке масс-спектрометра. Ловушка 3 охлаждается жидким азотом. Для измерения вакуума используется ионный манометр. [c. 209]

    Пучок ионов по выходе из ионизационной камеры (рис. 71) попадает в трубку масс-спектрометра, находящуюся в магнитном поле. Поскольку здесь поддерживается вакуум около 1. 10 мм рт. ст., то вероятность столкновений ионов и их дальнейшего распада крайне незначительна. Именно по этой причине при газовом масс-спектрометрическом анализе необходим столь высокий вакуум. В противном случае состав ионного пучка становился бы еще более сложным, а расшифровка масс-спектра была бы еще более затруднительной. [c.222]

    Масс-спектрометрический анализ проводится в условиях высокого вакуума. Длина свободного пробега ионов и молекул значительно больше линейных размеров источника [c.6]

    Щукарев и Семенов обнаружили важную закономерность, которая была подтверждена и другими исследователями. Летучесть окислов редкоземельных элементов в высоком вакууме, а также состав их паров значительно отличаются для окислов различных элементов этой группы. Общей тенденцией в ряду лантаноидов является понижение прочности газообразных моноокисей при переходе от соединений лантана к лютецию, что при масс-спектрометрических измерениях проявляется в увеличении отношения Ln LnO «. Эта закономерность обнаруживает отчетливую периодичность соотношение Ln LnO — наибольшее для окислов тех элементов, которые проявляют валентность +2 (например, европий, иттербий) и имеют наименьшую энтальпию сублимации металла эти окислы имеют также повышенную летучесть. [c.205]


    Для исследования продуктов термического распада найлона образец помещали в стеклянную трубку, соединенную с системой напуска масс-спектрометра трубка находилась в расплаве солей с температурой 300°. Одним из основных выделяющихся продуктов был циклопентанон. Продукты деструкции полимера в вакууме отличались по составу от продуктов разложения на воздухе быстрое удаление продуктов распада из сферы реакции исключало возможность их дальнейшего взаимодействия. Циклопентанон трудно было идентифицировать в реакционной смеси, полученной при атмосферном давлении вследствие его высокой реакционной способности. Поэтому применение масс-спектрометрического метода было особенно существенным, поскольку он обеспечил возможность обнаружения реакционноспособного соединения. Идентификация такого рода продуктов помогает пониманию путей образования конечных продуктов реакции, а также очень ценна прн быстром разделении первичных продуктов, часто используемом при изучении пиролиза [1294, 2111]. [c.451]

    I и II были синтезированы по методикам [2—4] и очищены многократной перекристаллизацией из толуола. Все вещества сублимировали в высоком вакууме (10- Па). В пределах точности элементного анализа (0,5 масс. %) содержание всех элементов в изученных соединениях отвечало формульному составу. По данным масс-спектрометрического анализа суммарное содержание примесей в образцах не превышало 0,15 масс. %. [c.22]

    Сочетая другие методы и приемы (например, предварительное обогащение анализируемых проб н др,) с масс-спектрометрическим апэ- лизом, можно получить высокую чувствительность и на относительно простых масс-спектрометрах, откачиваемых до более глубокого вакуума (10″ мм рт. ст.), чем это обычно делается, [c.74]

    Метод регистрирует выделение из образца летучих продуктов в момент приложения внешнего термомеханического воздействия, продуктов термического разложения функциональных групп, накопленных в результате вторичных механохимических реакций, дает возможность определить локализацию накопления микроповреждений, кинетические параметры процессов. Использование масс-спектрометрического анализа позволяет изучать весь комплекс процессов, протекающих под действием тепла и механических напряжений, установить степень неравномерности старения эластомеров и резинотехнических изделий в реальных условиях. С помощью масс-анализаторов, работающих в высоком вакууме, можно изучать первичные стадии распада, исключать вторичные реакции продуктов пи- [c.144]

    При анализе металлического V, УгОд и УРз применяют два варианта экстракционного метода. Плавление в токе Аг осуществляется в графитовом тигле в присутствии Р1 при весьма высокой температуре (2100—2200°С) [659]. Выделяющаяся СО окисляется до СО2, который затем регистрируется кондуктометрической ячейкой с раствором Ва(0Н)2. Данным способом определялось от 0,025 до 0,5% О в пробе. Плавление в графитовом тигле в вакууме и также в присутствии Р1-бани требует примерно такого же времени и температуры 1800—1850° С. Манометрический контроль выделяющегося из пробы УРз кислорода дает возможность определять его содержание до — 5-10 % [1125]. Последующий масс-спектрометрический анализ состава газов, выделяющихся из образцов металлического У, позюляет определять также Н и Ы [522]. [c.249]

    Наивысшей чувствительностью обладают промышленные масс-спектрометрические течеискатели, реагирующие только на пробное вещество вне зависимости от присутствия посторонних паров и газов. Практически нечувствительны к присутствию воздуха и других веществ галогенные течеискатели, но пары растворителей и других галогенсодержащих соединений могут вызывать фоновые сигналы. С увеличением фонового сигнала и его нестабильности, естественно, возрастает наименьший достоверно регистрируемый сигнал о течи и порог чувствительности. Сигнал манометров определяется всей совокупностью присутствующих веществ, и возможности регистрации течей манометрическим методов при общем высоком уровне давления офаничены. Зато при сверхвысоком вакууме этим методом могут быть иногда зафиксированы предельно малые течи, лежащие за порогом чувствительности даже масс-спекфомефического метода. Следует иметь в виду, что порог чувствительности не является абсолютной характеристикой метода, но зависит от способов его реализации, схемы и режима испытаний, характеристик испытуемого объекта. В табл. 3 приведены цифры, относящиеся к предельным возможностям в самых лучших условиях. Далее будет приведено краткое описание наиболее распространенных тече-искателей. [c.552]

    Масс-спектрометрический метод применялся для исследования структуры полимеров путем изучения продуктов термического разложения высокополимерных соединений. Полиэтилен, поли-изобутилеп, бутадиен-натриевый каучук и др. подвергались термической деструкщхи в условиях глубокого вакуума, и продукты реакции непосредственно попадали через диафрагму в ионный источник. Результаты масс-сиектрометрпческих исследований ио-зволили сделать ряд заключений относительно структуры высоко-нолимеров (например, наличие разветвленных и пересекающихся цепей в молекуле полиэтилена и ряд других). [c.466]

    Общая схема одной из масс-спектрометрических установок представлена на рис. 69. Здесь применен 60-градусный масс-спектрометр Нира (трубка его изогнута под углом 60°). В этой схеме имеется газозаполняющее устройство, предназначенное для подготовки анализируемых газовых проб и их впуска в трубку масс-спектрометра. Газозанолняющее устройство имеет отдельный вакуумный масляный насос, систему стеклянных баллонов для газовых проб, манометры — простые ртутные и для измерения высокого вакуума (типа Пирани), а также ловушки, погруженные в жидкий азот, трубки с аскаритом и т. п. приспособления для очистки и осушки газа. [c.208]

    В масс-спектрометрической камере поддерживается очень высокий вакуум, что достигается применением специальной вакуумной установки, состоящей из нарортутного насоса, масляного насоса ВН-494 и ловушки, охлаждаемой жидким азотом, для вымораживания ртутных паров. Для измерения вакуума применяется ионизационный манометр ЛМ-2. Вакуумная установка способна создать разрежение до 3—5 10 мм рт. ст. При впуске анализируемого газа давление повышается до 1—2 10 мм рт. ст. Цельнометаллический вентиль разъединяет масс-спектрометри ческую камеру и вакуумную установку, что позволяет сохранять [c.210]

    Исследования выполнялись в высоком вакууме и на воздухе в интервале температур 100—1000° при использовании изотермического и динамического термогравиметрического анализов Согласно данным масс-спектрометрического анализа, главны ми летучими продуктами пиролиза в вакууме являются СО СОг и НгО. Наиболее устойчивым на воздухе оказался полимер Б энергии активации термоокислительной деструкции е интервале температур 440—460° при степени разложения 50% для полимеров В, А, Г к Б составляют соответственно 28, 31 30 и 34 ккал1моль. Наиболее устойчивыми в вакууме оказались полимеры А и Б энергии активации по данным динамического термогравиметрического анализа для степени превра щения 15% полимеров В, А, Г и Б соответственно равны 47 48, 47 и 50 ккал1моль. В области 800° скорость изменения весг полимеров сильно уменьшается и потери веса составляют 28— 38%. [c.38]

    Использование магнитных статических масс-спектрометров для измерения парциальных давлений остаточных газов в вакуумных системах затруднительно из-за их сложности и громоздкости. Поэтому в течение последних лет интенсивно проводятся работы по созданию новых, более простых и удобных устройств, позволяющих осуществлять масс-спектрометрический анализ газов в высоком вакууме. Такого рода устройства получили название динамических масс-спектрометров из-за обязательного наличия в них высокочастотного электрического поля. К такого рода приборам относятся омегатрон, радиочастотный масс-спектрометр, импульсный пролетный масс-спектрометр, фарвитрон и электрический фильтр масс. [c.194]

    Перед выключением течеискателя сначала должен быть удален азот из ловушки и лишь после ее прогрева выключают пароструйный насос. Такой прием предотвращает попадание паров масла и прочих скопившихся загрязнений в масс-спектрометрическую камеру. Высокая чувствительность течеискателей может быть достигнута лишь в условиях полной герметичности вакуумной системы самого прибора. Поэтому необходимо периодически проверять систему на предельный вакуум без азотного охлаждения Рпред (3-=-5) 10 тор. [c.231]

    Очевидно, что описанная выше работа масс-спектромет-ра возможна при условии, что если в масс-спектрометрической камере со всеми ее деталями (манометром, катодом, ионизатором, входной и выходной диафрагмами, коллектором) будет поддерживаться достаточно высокий вакуум. С этой целью масс-спвктрометрический течеискатель снабжается собственной вакуумной системой (рис. 7-6). Масс-спектрометрическая камера 1 через металлическую ловуш.-ку 2 для вымораживания паров и вентиль 3 присоединяется к металлическому паромасляному насосу 4 и небольшому вращательному масляному насосу 5 для измерения давления используется магнитный электроразрядный манометр, помещенный, как уже указывалось, в масс-спектрометрической камере. [c. 271]

    Расщепление молекул на те или другие фрагменты связано со строением вещества наоборот, зная, на какие фрагменты обычно расщепляются соединения данного класса, можно установить строение вещества. Масс-спектрометрия как метод изучения строения был-впервые разработан Биманом [36], который применил его к исследованию нескольких классов соединений. Масс-спектрометрия различных классов моносахаридов была разработана Н. К. Кочетковым и О. С. Чижовым [37], Гейнсом и сотр. [38] и др. Свободные сахара не летучи и поэтому для масс-спектрометрического исследования их обычно переводят в производные— простые и сложные эфиры (например, метильные или ацетильные), а также ацетали, которые достаточно летучи в высоком вакууме. Для исследования достаточно 10 —10 г. [c.94]

    Масс-сПектрометрические течеискатели ПТИ-6 и ПТИ-7 предназиачепы для испытания на герметичность зам кнутых объемов с высоким вакуумом—специальных радиоламп, телевизионных трубок, различных вакуумных установок И Т. н., и используются как в лабораторных, так и в производственных условиях. [c.65]

    После проведения масс-спектрометрического анализа первой порции полученного водорода систему напуска водорода и систему разложения воды откачивают до высокого вакуума через вентили 4, 24 и 30 (при закрытых вентилях 1 я 3). Затем вентили 4 и 30 закрывают, как описано выше, и колбу 8 заполняют второй порцией пара воды из ловушки 14 (через промежуточный объем блока вентилей 1—4). В течение одного эксперимента производится многократный перевод (от 4 до 8 раз) порций пара воды из ловушки 14 в объем 8 с последующим масс-спектрометрическим анализом изотопного состава каждой порции. Такая методика необходима для подавления эффекта памяти изотопнообменной установки и ионного источника масс-спектрометра. Только после получения воспроизводимых. масс-спектрометрическнх данных от нескольких повторных порций воды эксперимент считается законченным. [c.259]

    Сравнительно высокая летучесть полиаллильных комплексов в глубоком вакууме позволяет провести их масс-спектрометрическое исследование. Молекулярные веса в тех случаях, когда они были измерены, показывают, что за исключением ди(аллил)хрома и ди(аллил)молибдена, комплексы мономерны. Из обсуждавшихся выше структурных исследований видно, что димеризация [c.234]

    В табл. 50 приведены результаты масс-спектрометрического анализа летучих продуктов, полученных при пиролизе полиметилена в вакууме при температурах 500, 800 и 1200°. Величины Упир выражены в процентах от общего количества летучих продуктов. Из таблицы следует, что самые тяжелые осколки преобладают при низкотемпературном пиролизе, тогда как при высоких температурах более значительна доля газообразных продуктов. Так, доля мономера С2Н4 составляет 0% при 500°, 5,5% при 800° и 26,4% при 1200°. При 1200° мономер по количеству продуктов пиролиза занимает второе место после Упир- Это можно объяснить [c.112]

    Изученные вещества синтезированы по методикам, описанным в работе [I]. Очистка их произведена путем сублимащ1и в высоком вакууме. По данным масс-спектрометрического анализа, суммарное содержание примесей в них не превышало 0,1%. [c.47]

    Нагревание полиамидов до 230—250°С или проведение поликонденсации при высоких температурах приводит к их декарбокси-лированию. Это доказывается расхождением значений молекулярной массы, найденных по вязкости и по карбоксильным группам [8]. По данным масс-спектрометрического анализа при пиролизе в вакууме при 400 °С смешанных полиамидов на основе гексамети-ленадипамида в газовую фазу выделяются только вода, углеродистые соединения (СО, СОз, циклопентанон и низшие углеводороды), в то время как аммиак не отщепляется, и весь азот остается в твердом остатке [16—19]. Было высказано предположение, что при термической деструкции образование циклопентанона объясняется распадом амидной связи в концевом звене  [c.16]


Определение вакуума

Давление определяется как отношение силы, действующей перпендикулярно и равномерно распределяется на единицу площади.

\[p = \фракция FA\]

$p$ Давление [Па]
$Ф$ Сила [Н]; 1 Н = 1 кг м с -2
$А$ Район 2 ]

Формула 1-3: Определение давления

В закрытом сосуде частицы газа совершают тепловые движения.В их взаимодействию со стенкой сосуда атомы и молекулы подвергаются к большому количеству столкновений. При каждом столкновении на судно действует сила стена. Там, где замкнутый газ не подвергается внешним воздействиям, происходящие столкновения приводят к одинаковому давлению в любой точке внутри сосуда, независимо от того, где и в каком направлении производится измерение выполненный.

Рисунок 1.2: Определение полного давления

На практике очень редко доступен только один газ.Смеси различные газы встречаются гораздо чаще. Каждый отдельный компонент этих газов оказывает определенное давление, которое можно измерить независимо от других компоненты. Это давление, оказываемое различными компонентами, называется частичным. давление. В идеальных газах парциальные давления различных компонентов складываются до полного давления и не мешают друг другу. Сумма всех парциальное давление равно общему давлению.

Рисунок 1.3: Определение парциального давления

Примером газовой смеси является окружающий нас воздух.Его парциальное давление состав приведен в таблице 1.1 [3].

Тип газа Хим. Формула Объемный % Парциальное давление [гПа]
Азот Н 2 78.09 780,9
Кислород О 2 20,95 209,5
Водяной пар Н 2 О < 2.3 < 23,3
Аргон Ар 9,3·10 -1 9,3
Углекислый газ СО 2 3,0·10 -2 3,0·10 -1
Неон Не 1,8·10 -3 1,8·10 -2
Водород Н 2 < 1·10 -3 < 1·10 -2
Гелий Он 5. 0·10 -4 5,0·10 -3
Метан Ч 4 2,0·10 -4 2,0·10 -3
Криптон Кр 1,1·10 -4 1,1·10 -3
Окись углерода СО < 1,6·10 -5 < 1.6·10 -4
Ксенон Хе 9,0·10 -6 9,0 . 10 -5
Закись азота Н 2 О 5,0·10 -6 5,0·10 -5
Аммиак НХ 3 2,6·10 -6 2,6·10 -5
Озон О 3 2.0·10 -6 2,0·10 -5
Перекись водорода Н 2 О 2 4,0·10 -8 4,0·10 -7
Йод I 2 3,5·10 -9 3,5·10 -8
Радон Р-н 7,0·10 -18 7. 0·10 -17

Таблица 1.1: Состав атмосферного воздуха. Частичный указанные значения давления относятся к 1000 гПа. Примечание: значение указано для воды пар находится в состоянии насыщения при 293 К (20°С). Значения углерода содержание диоксида и оксида углерода колеблется в зависимости от места и времени. То Показанием для угарного газа является пиковое значение для большого города. Другой источники относятся к природной концентрации водорода 5 · 10 -5 % и парциальное давление 5·10 -4 гПа.

В космосе, в зависимости от близости к галактикам, давление менее 10 -18 гПа. преобладать. На Земле технически создаваемое давление менее 10 -16 гПа были сообщены. Диапазон атмосферного давления до 10 -16 гПа охватывает 19 десятичных степеней. Специально адаптированные типы создания вакуума и измерения для диапазона давления приводят к подразделениям различных диапазоны давления указаны в таблице 1. 2.

Диапазон давления Давление гПа Давление Па Числовая плотность на см 3 Длина свободного пробега в м
Атмосферное давление 1013.25 101 325 2,7·10 19 6,8·10 -8
Низкий вакуум (LV) 300…1 30 000…100 10 19 …10 16 10 -8 …10 -4
Средний вакуум (MV) 1…10 -3 100…10 -1 10 16 …10 13 10 -4 …10 -1
Высокий вакуум (HV) 10 -3 …10 -7 10 -1 …10 -5 10 13 …10 9 10 -1 …10 3
Сверхвысокий вакуум (СВВ) 10 -7 …10 -12 10 -5 …10 -10 10 9 …10 4 10 3 …10 8
Чрезвычайно высокий вакуум (XHV) <10 -12 <10 -10 <10 4 >10 8

Таблица 1. 2: Диапазоны давления в вакуумной технике

Единицей измерения давления является паскаль. Эта единица была названа в честь французский математик, физик, писатель и философ Блез Паскаль (1623 – 1662). Согласно формуле 1-3, единица СИ паскаль состоит из Pa = N m -2 . Единицы мбар, торр и единицы, приведенные в таблице 1.3, широко используются на практике.

Па бар гПа мкбар торр мкм атм на мм WS пси псф
Па 1 1·10 -5 1·10 -2 10 7.5·10 -3 7,5 9,87·10 -6 1,02·10 -5 0,102 1,45·10 -4 2,09·10 -2
бар 1·10 5 1 1·10 3 1·10 6 750 7,5·10 5 0,987 1. 02 1,02·10 4 14,5 2,09·10 3
гПа 100 1·10 -3 1 1000 0,75 750 9,87·10 -4 1,02·10 -3 10,2 1,45·10 -2 2,09
мкбар 0.1 1·10 -6 1·10 -3 1 7,5·10 -4 0,75 9,87·10 -7 1,02·10 -6 1,02·10 -2 1,45·10 -5 2,09·10 -3
торр 1,33·10 2 1,33·10 -3 1.33 1 330 1 1000 1,32·10 -3 1,36·10 -3 13,6 1,93·10 -2 2,78
мкм 0,133 1,33·10 -6 1,33·10 -3 1,33 1·10 -3 1 1. 32·10 -6 1,36·10 -6 1,36·10 -2 1,93·10 -5 2,78·10 -3
атм 1,01·10 5 1,013 1 013 1,01·10 6 760 7,6·10 5 1 1,03 1,03·10 4 14.7 2,12·10 3
по 9,81·10 4 0,981 981 9,81·10 5 735,6 7,36·10 5 0,968 1 1·10 -4 14,2 2,04·10 3
мм WS 9,81 9.81·10 -5 9,81·10 -2 98,1 7,36·10 -2 73,6 9,68·10 -5 1·10 -4 1 1,42·10 -3 0,204
фунтов на квадратный дюйм 6,89·10 3 6,89·10 -2 68,9 6,89·10 4 51. 71 5,17·10 4 6,8·10 -2 7,02·10 -2 702 1 144
псф 47,8 4,78·10 -4 0,478 478 0,359 359 4,72·10 -4 4,87·10 -4 4.87 6,94·10 -3 1

Таблица 1.3: Таблица перевода единиц давления

 

Вакуумные насосы Gamma: технологии сверхвысокого вакуума

Компания Edwards предлагает ряд ионных насосов, насосов для сублимации титана, неиспаряющихся геттерных насосов и аксессуаров исключительно через гамма-вакуум.

Технологии перекачки

Capture создают среды высокого вакуума (HV) и сверхвысокого вакуума (UHV) для различных приложений, от портативных масс-спектрометров до крупномасштабных ускорителей частиц. Они могут создать минимально возможный вакуум по экономичной цене.

Ионные насосы

Также известные как распылительные ионные насосы или ионные геттерные насосы, представляют собой улавливающие насосы, которые ионизируют газы с помощью массива анод/катод. Ионы распыляют реактивные материалы катода, создавая химическую реакцию, которая превращает ионизированные газы в твердые соединения.Эти соединения больше не влияют на давление в вакуумной системе и постоянно захватываются ионным насосом. Ионные насосы могут работать при давлении от 10-5 до 10-12 мбар и имеют производительность от 0,2 до 1200 л/с по азоту.

Насосы для сублимации титана

Работают путем нагревания титановой нити и сублимации (перехода из твердой фазы в газовую) молекул титана на поверхность. Затем сублимированные молекулы титана доступны для химической реакции с химически активными газами, такими как кислород и азот, а также для диссоциации и диффузии водорода. TSP могут работать при давлении от 10-5 до 10-12 мбар и иметь скорость откачки водорода более 10 000 л/с.

Ионный насос для сублимации титана

Неиспаряющиеся геттерные насосы (NEG)

– это химически активные металлы, напрессованные на твердые подложки или спеченные в диски.Было обнаружено, что определенная комбинация циркония, ванадия и железа лучше всего подходит для сред высокого и сверхвысокого напряжения. Количество используемого материала определяет скорость и производительность насоса NEG, но обычно составляет от 55 до 412 л/с, а производительность — от 630 до 3600 торр л/с. Поскольку NEG насыщаются газами, их можно повторно активировать без выброса в атмосферу.

SPC-NEG

Современный контроллер NEG в компактном исполнении, оптимизированный как по производительности, так и по цене, с расширенными функциональными возможностями, который помогает более удобно достигать сверхвысокого вакуума для вашего приложения.

Контроллеры DIGITEL SPC-NEG управляют насосами NEG с высокой скоростью откачки водорода, который является наиболее подходящим типом газа в сверхвысоком вакууме. В отличие от стандартных источников питания, SPC-NEG может не только подавать ток на нагреватель NEG, но и использовать предварительно определенные процедуры с определенными параметрами, такими как значения тока или продолжительность нагрева. Эти значения выбираются SPC-NEG в зависимости от подключенного насоса NEG. Подпрограммы настраиваются для проведения экспериментов с различными параметрами.Надежная работа обеспечивается обнаружением разомкнутого контура, а также защитой от перегрузки.

Высокая простота использования обеспечивается большим сенсорным экраном. Кроме того, интерфейс Ethernet позволяет осуществлять дистанционное управление.

Контроллер DIGITEL SPC-NEG

Системы сверхвысокого вакуума | Системы вакуумного нанесения покрытий

Как достичь сверхвысокого вакуума?

Для достижения такого уровня вакуума требуется использование специальных материалов и различных ступеней откачки.Уплотнения и прокладки, используемые в системе сверхвысокого вакуума, должны предотвращать даже незначительные утечки. Почти все эти уплотнения изготовлены из металлических материалов с острыми краями с обеих сторон, врезающимися в мягкую прокладку, обычно из меди. Эти цельнометаллические уплотнения могут сохранять целостность в диапазонах сверхвысокого вакуума. Материалы, используемые в условиях сверхвысокого вакуума, должны выдерживать нагрев при температуре более 120°C в течение многих часов/дней, но также не должны иметь высокого давления паров.

Таким образом, нельзя использовать пластмассы, PTFE, PEEK, ни клей (вместо них используются винты), свинец (пайка).Вот почему системы сверхвысокого напряжения дороже систем высокого напряжения. В процессе запекания атомы газа покидают поверхность стенки камеры. Во время вакуумного процесса атомы газа, поглощенные стенкой камеры, медленно высвобождаются с поверхности стенки камеры ( Явление газовыделения ), и если камера не прогрета, буквально потребуются месяцы, чтобы достичь условий сверхвысокого вакуума.

Дегазация является одной из проблем, которые необходимо решить для достижения условий сверхвысокого вакуума. Все материалы , даже материалы, которые обычно не являются абсорбирующими, также проявляют явление газовыделения, например, некоторые металлы и пластмассы. Например, сосуды, облицованные материалом с высокой газопроницаемостью, таким как палладий (который представляет собой водородную губку большой емкости), создают особые проблемы с дегазацией.

Выделение газа может происходить из двух источников: поверхностей и сыпучих материалов. Выделение газа из сыпучих материалов сводится к минимуму за счет выбора материалов с низким давлением паров (таких как стекло, нержавеющая сталь и керамика) для всего внутри системы.

При очень низком давлении газы, поглощаемые поверхностями в вакуумной камере, постепенно высвобождаются, не позволяя давлению достичь сверхвысокого вакуума. Вода является одним из факторов, сильно вызывающих газовыделение. Когда дверь вакуумной камеры открывается и воздух прилегает к ее поверхностям, тонкий слой водяного пара поглощает поверхности и попадает в вакуумную камеру во время процессов низкого давления. Удаление воды и подобных газов обычно требует прокаливания системы сверхвысокого вакуума при работающих вакуумных насосах . Во время использования камеры стенки камеры можно охлаждать жидким азотом, чтобы еще больше уменьшить выделение газов.

Системы СВН

обычно на 100 процентов сухие, и в них не должно быть воды или влаги. Наиболее распространенным газом, остающимся в системах сверхвысокого вакуума, является водород. Водород — это легкий подвижный газ, который трудно прокачать . Для откачки этого газа требуются специальные насосы сверхвысокого вакуума, и сокращение количества водорода, выделяемого с внутренней поверхности вакуумной камеры, является одной из вещей, которые следует учитывать.

Для достижения сверхвысокого вакуума необходимо использовать два или более насосов. Не существует насоса, способного в одиночку понизить давление из атмосферы в СВВ. На первом этапе грубый насос, называемый форвакуумным насосом, увеличивает давление примерно до вакуума (грубый вакуум). Затем с помощью одного или нескольких насосов низкого давления давление достигает диапазона сверхвысокого давления. Насосы, обычно используемые на второй стадии, включают турбомолекулярные насосы , ионные насосы, геттерные насосы и крионасосы.

Для измерения давления в диапазонах ВН и СВН использование обычных манометров из-за явления газовыделения не подходит и вместо них используются ионизационные манометры.Они используют вероятность ионизации газа для определения плотности частиц. Есть два типа: ионизационные датчики с холодным и горячим катодом.

Манометр с холодным катодом

Датчик ионизации с холодным катодом , часто называемый датчиком Пеннинга. Механизм действия этих манометров заключается в том, что при приложении электрического поля между катодом и анодом электроны ускоряются к катоду и на своем пути сталкиваются с атомами газа в камере.В результате этого столкновения атомы газа превращаются в положительные ионы. По мере увеличения давления внутри камеры увеличивается и количество носителей заряда. Измеряя электрический заряд, определяют давление внутри камеры. Эти манометры могут измерять давление в диапазоне от 10 -2 до 10 -5 миллибар.

Манометр с холодным катодом

Манометр с горячим катодом

В манометре с горячим катодом катод действует как источник эмиссии электронов.Электроны направляются от катода к аноду и на своем пути сталкиваются с атомами газа и ионизируют их. Результатом измерения количества ионов в коллекторе ионов является определение давления внутри камеры. Эти манометры могут измерять давление в диапазоне от 10 -2 до 10 -11 миллибар.

Если плотность частиц внутри вакуумной камеры высока, ионы не могут достичь коллектора ионов. Вот почему датчики с холодным катодом используются при высоких давлениях, а на ранних стадиях вакуума и при более низком вакууме используются датчики с горячим катодом.Электроны, испускаемые катодом, воздействуют на анод и производят рентгеновское излучение. В результате рентгеновские лучи также испускают электроны из коллектора ионов, что приводит к смещению тока. В последние годы для защиты коллектора ионов от рентгеновских лучей используются экраны.

Манометр с горячим катодом

Для получения дополнительной информации о системах сверхвысокого вакуума см. приведенные ниже ссылки.

Ресурс

  1. https://www.vacuumscienceworld.com/ultra-and-extreme-high-vacuum#leak_detection_in_high_ultra__extreme_high_vacuum
  2. http://www.orsayphysics.com/what-is-uhv
  3. Стронг, Джон (1938). Методы экспериментальной физики . Брэдли, Иллинойс: Публикации Линдси., Глава
  4. .
  5. Б. Шлеппи и др. (2010), Влияние дегазации космического корабля на исследование разреженной атмосферы с помощью масс-спектрометрии in situ, J. Geophys. Рез., 115, A12313, doi: 10.1029/2010JA015734.

Перекачивание определенных газов в высоком вакууме

Фила Дэниелсона

Специальные вопросы по перекачке газа

Планирование и проектирование вакуумной насосной системы — это больше, чем просто максимальное увеличение скорости откачки. Соответствие производительности откачки каждого отдельного встречающегося вида газа обеспечит максимальную производительность откачки.

Все практикующие вакуумные технологии разделяют одно требование: в какой-то момент камеру необходимо откачать от атмосферного давления после того, как она открыта для окружающего воздуха. Это требование часто убаюкивает неосторожного практикующего врача, предполагая, что весь процесс откачки состоит из откачки воздуха. Это простое предположение может убаюкать практикующего врача, который скоро забудет о том, что «большая» помпа решит любую проблему с помпой, которая может возникнуть.

Все не так просто.

Учтите, что процесс откачки начинается с газа, называемого воздухом, который на самом деле представляет собой смесь нескольких газов с фиксированным соотношением газа к газу. За исключением, например, водяного пара, содержание которого сильно зависит от изменений относительной влажности (отн. 2,47 мл. Это значительный разброс, и он повлияет на откачку и систему прокачки. Изменения в содержании водяного пара — это только один, но, очевидно, важный пример необходимости целенаправленной откачки определенного газа в вакуумной технике.

В целом можно разбить тему на две основные области: откачка и процесс.

Откачка

Процесс откачки можно разделить на три отдельные зоны, охватывающие весь диапазон вакуума от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Конкретный процесс, связанный с вакуумом, может потребовать давления только в пределах одной зоны или может потребовать пересечения нескольких зон.Эти три отдельные зоны, начиная с давления окружающей среды или атмосферного давления, представляют собой зону объема, зону осушки и зону водорода.

Откачка в зоне объема

В зоне объема насосы должны работать либо с воздухом, либо со специальным газом, заполняющим объем камеры. Хотя снижение давления в этой зоне в первую очередь является функцией объемного рабочего объема насоса, необходимо учитывать количество водяного пара в камере из-за влажности, чтобы предотвратить загрузку насоса конденсированной водой и препятствовать предельному давлению насоса из-за давления пара вода внутри горячего насоса. Таким образом, часто требуются методы улавливания, чтобы вода не попала в насос, но эффекты откачки водяного пара могут сильно различаться.

Как правило, поршневые насосы, используемые для снижения давления по сравнению с атмосферным, будут иметь по существу одинаковую скорость откачки для всех объемных газов в начале откачки, но изменения соотношения газ-газ могут быть вызваны дополнительным высоким вакуумные насосы, которые можно использовать, пока они еще находятся в зоне объема.

Хотя различия в скорости откачки различных газов обычно не представляют проблемы при откачке через эту зону, существуют различия, которые могут быть важны в особых случаях, поэтому следует всегда помнить об относительных скоростях используемых высоковакуумных насосов.

Откачка в зоне осушки

В зоне осушки, произвольно установленной на верхнем пределе 10 -3 торр, специфическим газом, преобладающим среди остаточных газов, является десорбция паров воды с внутренних поверхностей камеры и диффузия из объема гигроскопичных материалов. Хотя откачка водяного пара является лишь одной из многих проблем в зоне объема, акцент смещается, когда давление снижается настолько, чтобы попасть в зону осушения.

В большинстве случаев форвакуумный насос, используемый для пересечения зоны объема, достигает своего предела, поэтому необходимо использовать высоковакуумный насос, который может работать в режиме давления молекулярного потока.Конденсация перестает быть большой проблемой, но впервые в цикле откачки один газ доминирует над составом остаточных газов и должен доминировать в нашем мышлении.

Когда откачка входит в зону осушки, водяной пар десорбируется с внутренних поверхностей с очень высокой скоростью. Поскольку часть водяного пара будет резорбироваться после первоначальной десорбции, необходимо максимально откачать его для удаления из камеры. Это означает, что мы должны сосредоточить наше внимание на скорости откачки водяного пара, а не на скорости откачки азота (N 2 ), которая обычно указывается в спецификациях поставщиков. Кроме того, нам нужно подумать о том, что происходит с водяным паром после того, как он был первоначально прокачан.

Крионасосы

, например, имеют чрезвычайно высокую скорость откачки водяного пара, но, что более важно, они способны удерживать огромные количества перекачиваемого водяного пара в виде льда. Крионасос будет продолжать принимать водяной пар до тех пор, пока не образуется достаточное количество льда, чтобы перекрыть пространство от насосного массива до теплой стенки насоса и вызвать тепловое короткое замыкание.

И наоборот, турбомолекулярные, турбо/тормозящие и молекулярные тормозные насосы предназначены для того, чтобы откачиваемые газы проходили через насос в форвакуумную линию, где они повторно закачиваются форвакуумным насосом и выбрасываются в атмосферу.В целом это так, но на практике большая площадь поверхности внутри помпы создает места резорбции водяного пара. Десорбция и резорбция водяного пара в насосе может привести к снижению общей скорости откачки за счет изменения теоретической степени сжатия. Во многих случаях в насосе может накопиться достаточное количество сорбированного водяного пара, чтобы позволить ему снова попасть в камеру.

Ни один из типов насосов нельзя считать идеальным для перекачки водяного пара при любых условиях, но необходимо подумать о том, сколько водяного пара необходимо перекачивать и как система должна работать в цикле.Суть в том, чтобы ориентироваться на удельную газовую нагрузку в зоне осушки.

Откачка в водородной зоне

По мере того, как водяной пар медленно десорбируется и откачивается примерно до 1 x 10 -8 торр, откачка поступает в зону водорода (H 2 ). Соображения по перекачиванию на данном этапе необходимо сместить с водяного пара на H 2 . К H 2 теперь необходимо применить тот же подход к единому газу, который обсуждался для водяного пара в зоне осушки.Во многих отношениях требуется еще большая жесткость, поскольку общее давление теперь намного ниже, и все более важным становится меньшее количество газа, выбрасываемого насосами (память).

Источники, количество и скорость встречающегося H 2 будут сильно различаться от системы к системе, поэтому каждая система требует очень тщательного анализа с точки зрения самой системы и целевого предельного давления. Хотя общие рекомендации по откачке невозможны, крионасосы имеют ограниченную производительность H 2 , а турбомолекулярные и молекулярные тормозные насосы имеют ограниченную степень сжатия и последующую скорость откачки для H 2 .Геттерные насосы Appendage могут быть практичным решением в качестве усилителя скорости откачки и удерживания H 2 в любом случае.

Перекачка технологического газа

Часто необходимо еще больше сосредоточиться на откачке конкретного газа, когда задействован процесс, чем на начальной откачке. Для многих современных вакуумных применений требуются газы, которые являются коррозионными, вредными или даже смертельными, которые вводятся либо статически, либо динамически после первоначальной откачки. Очевидно, что эти газы требуют чрезвычайно тщательного рассмотрения при откачке, и каждый из них, по сути, является одним сложным объектом.

Другие распространенные приложения проще. Например, при распылении аргон (Ar) и/или химически активные газы динамически вводятся во время процесса. Насосная система, которая успешно откачивает камеру, может не справиться с технологическими газами. В таких случаях перекачка конкретного газа должна быть сосредоточена как на откачке, так и на перекачке технологического газа.

При других типах применения загрязняющие газы могут выделяться во время процесса. Водяной пар может быть десорбирован с внутренних поверхностей за счет теплового излучения внутренних источников, таких как испарительные лодочки.Плазменные процессы также могут вызывать десорбцию водяного пара за счет ионной очистки. Поскольку водяной пар может быть убийцей процесса, важно обеспечить достаточную мощность насоса, чтобы справиться с возросшей нагрузкой водяного пара. Эти проблемы могут возникнуть, даже если система была откачана через зону осушки до начала процесса.

Вакуумные печи могут обеспечить большие выбросы водяного пара из рабочей нагрузки или нагревательных решеток в дополнение к источникам десорбции стенок камеры от теплового излучения.Это приложение также является хорошим примером неожиданной газовой нагрузки, поскольку большинство металлов содержат большое количество растворенных H 2 , которые могут выделяться при нагревании. Массивные количества H 2 могут выделяться тогда, когда плавятся эвтектики при пайке.

Есть газы и газы

Пристальное внимание ко всем различным газам, встречающимся при откачке и последующем процессе, может иметь значение между успешным проектированием системы или процесса и относительным отказом. Шаг за шагом и оценка процесса с точки зрения конкретных газов упрощает выбор насосов и методов откачки.топ

КОНКРЕТНЫЕ ВОПРОСЫ ПО ПЕРЕКАЧКЕ ГАЗА, КОТОРЫЕ СЛЕДУЕТ ЗАДАТЬ СЕБЕ

Каково требуемое целевое предельное давление?
Какие зоны откачки будут пройдены?
Будет ли система подвергаться краткосрочной переработке и повторному использованию?
Закончится ли какой-либо конкретный газ для загрузки насосной системы?
Будет ли скорость насосной системы соответствовать ожидаемым удельным нагрузкам по газу?
Какие технологические газы будут добавлены к общей газовой нагрузке?
Будут ли нагрузки технологического газа после откачки перегружать производительность насоса?
Сколько технологических циклов может быть выполнено до перегрузки насосов?
Какие загрязняющие газы будут выделяться в процессе?
Могут ли насосы обрабатывать какие-либо загрязняющие газы, выделяющиеся во время обработки?
О чем я не подумал?
Действительно ли у меня есть подходящий насос для перекачки газов?

Перепечатано с разрешения R&D Magazine, , все права защищены. Reed Business Information, подразделение Reed Business.

Более короткая версия опубликована в журнале R&D Magazine, , октябрь 2005 г.

Сверхвысокий вакуум для науки и исследований

Впервые я услышал выражение «сверхвысокий вакуум», сидя на совещании в 1970-х годах, рассматривая чертежи, и меня спросили, соответствуют ли детали на чертеже. К счастью, мой коллега был в курсе, и мне не нужно было признаваться, что я не совсем понимаю, что они имели в виду.

Сверхвысокий вакуум составляет 10-9 торр.Этот уровень вакуума используется учеными для проведения специализированных экспериментов путем удаления всех газов, которые могут отвлечь внимание от их экспериментов и сделать их недействительными, или для предотвращения условий, при которых может работать электрическая часть эксперимента.

Необходимость проведения экспериментов в вакууме создает ряд проблем. Изначально вы должны создать камеру, способную удерживать необходимый уровень вакуума. В то же время вы должны иметь возможность поместить материалы, которые вы исследуете, в камеру перед проведением эксперимента.Также часто необходимо требование наличия электроэнергии в камере.

Техническая керамика является идеальным решением для таких исследовательских задач, когда требуется электрическая изоляция высокого напряжения при нулевом выделении газа из керамики в вакууме. Керамика, связанная с металлами, также дает возможность передавать энергию или сигналы через стенку вакуумного сосуда без электризации стенки.

Металлические контейнеры могут иметь размер от небольшого настольного устройства до большого здания, а в случае установки Syncotron Beam могут простираться на сотни метров трубок и сосудов с портами для обеспечения ручного и визуального доступа в камеру и специальные насосы для создания вакуума.

В камере можно использовать различные типы керамики. Но все они должны иметь нулевое выделение газов (во избежание выделения химических компонентов из керамики и путаницы в эксперименте), нулевую пористость (поскольку высокопористые материалы требуют длительного времени откачки для достижения вакуума) и хорошую электрическую изоляцию. Могут применяться и другие факторы, такие как теплопроводность, механическая прочность и инертность к магнитным полям.

Камеры, как правило, изготавливаются из стали, и, в зависимости от уровня сложности, стоимость этих аналитических машин может варьироваться от тысяч для небольшой настольной модели до миллионов для специализированных топовых машин.

Некоторые из крупнейших установок предназначены для испытаний спутников, где весь спутник помещается в вакуумную камеру для воспроизведения условий в космосе и в условиях космического полета для испытаний «электрических двигателей».

Сверхвысокий вакуум трудно поддерживать в нашей атмосфере, но он бесценен для науки и исследований.

Режимы вакуумирования: грубый, технологический, высокий и сверхвысокий вакуум

Грубый вакуум: атм (1000 мбар) — 10

-2 мбар

Грубый вакуум связан с удалением объемного газа из системы.Есть много, много молекул газа в камере (справа), и они взаимодействуют друг с другом по законам термодинамики в образ вязкой жидкости. Говорят, что газы находятся в «вязком потоке». Грубые вакуумные насосы поэтому насосы потока жидкости знакомы большинству инженеров-механиков.

Технологический вакуум: 10

-2 мбар — 10 -4 мбар

Многие вакуумные процессы происходят при давлении порядка миллионных долей атмосферы.Камера является первой откачан до высокого вакуума (см. ниже), а затем снова заполнен технологическим газом. На этих взаимодействия давления между молекулами по-прежнему значительны, но характеристики течения газов разрушается, и столкновения газов со стенками камеры также начинают влиять на поведение газов. Сейчас в Помимо газов, протекающих через систему, со стенок камеры десорбируются следовые количества загрязняющих газов. Немногие насосы оптимизированы для работы под давлением технологического процесса и сочетают насосы грубого и высокого вакуума. (последовательно) обычно требуется для получения требуемых условий.


Высокий вакуум: 10

-5 мбар — 10 -9 мбар

В режиме высокого вакуума преобладают столкновения молекул со стенками камеры со средней длиной свободного пробега между молекула — столкновения молекул намного превышают размеры камеры. Остаточные газы подпрыгивать, как шарики в коробке, и нужен совершенно другой насос.Скорее чем буквально высасывать газы из системы, насос должен ждать, как венерина мухоловка, газа молекулы проникают в его горло. Таким образом, высоковакуумные насосы являются насосами «статистического захвата». Высокий вакуум насосы не могут перекачивать газ атмосферного давления и не могут выбрасываться в атмосферу. Скорее они вторичны насосы и требуют либо «поддержки», либо периодической «регенерации» форвакуумным насосом.

Сверхвысокий вакуум:

< 10 -9 мбар В то время как доминирующими частицами в высоком вакууме обычно является вода, сверхвысокий вакуум (СВВ) почти 100% сухой и водород является наиболее предпочтительным остаточным газом.Водород легкий и подвижный, и его очень трудно насос, требующий специализированных насосов сверхвысокого вакуума и уменьшающий газовую нагрузку со стенок камеры.

Оксфорд Вакуум Сайенс Лтд
18 Энстон Роуд
Средний Бартон
Оксфордшир
OX7 7B Великобритания

тел: +44 (0) 7495 463875

[email protected]оксфорд-вакуум. ком


| ОВС Главная   | | Продукты   | | Наука   | | Связаться с OVS   |

Сверхвысокий вакуум — обзор

2.5.2.1 Приборы и работа с образцами

XPS измерения проводятся в сверхвысоком вакууме (< 10 — 8 Торр), чтобы избежать столкновения между фотоэлектронами и молекулами газа в спектрометре, и минимизировать загрязнение поверхности остаточными газами.Типичный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр состоит из источника рентгеновского излучения, анализатора энергии электронов и фотоэлектронного детектора (рис. 2.5.2). Распространенными источниками рентгеновского излучения являются Al Kα (1486,6 эВ) и Mg Kα (1253,6 эВ). Используя монохроматизированные рентгеновские лучи с узкой шириной линии, можно исключить сателлитные спектры, создаваемые линиями Kα 3,4 и Kβ, и улучшить энергетическое разрешение фотоэлектронов.

Рисунок 2.5.2. Принципиальная схема системы измерения XPS, оснащенной электростатическим полусферическим анализатором (HSA).

Выброшенные фотоэлектроны передаются в анализатор энергии электронов через электронную линзу и разделяются в соответствии с их кинетической энергией. Система электронных линз между образцом и анализатором задерживает фотоэлектроны, повышая энергетическое разрешение анализатора (≤ 0,1 эВ). Существуют различные типы анализаторов, в том числе электростатический полусферический анализатор (HSA), анализатор с цилиндрическим зеркалом и анализатор со сферическим зеркалом. Среди них чаще всего используется HSA.После энергетического анализа фотоэлектроны обнаруживаются такими устройствами, как электронные умножители или канальные пластины. В обзоре Драммонда (2003 г.) следует ознакомиться для получения дополнительной информации об инструментарии и производительности XPS.

Широкосканирующий спектр Na + -монтмориллонита (Na + -Mt), возбужденный Al Kα, демонстрирует возможность многоэлементного обнаружения с помощью XPS (рис. 2.5.3). В этом отношении он сравним с рентгенофлуоресцентной (XRF) спектрометрией для объемного элементного анализа.Широкосканирующий рентгеновский фотоэлектронный спектр показывает фотоэлектронные и оже-электронные линии составляющих элементов, в частности Si (2s, 2p), Al (2s, 2p), Mg (KLL Auger), Na (1s, KLL Auger), и O (2s, 1s, KLL Auger). Набор основных фотоэлектронных линий вместе с оже-электронными линиями, индуцированными рентгеновским излучением, полезен для идентификации элементов. Однако вероятное совпадение с линиями различных элементов создает трудности в идентификации и количественной оценке второстепенных компонентов.

Рис. 2.5.3. Широкосканирующий рентгеновский фотоэлектронный спектр Na + -Mt, возбужденный излучением Al Kα.

Поскольку глинистые минералы являются электрическими изоляторами, положительные заряды могут накапливаться на поверхности образца в результате эмиссии электронов во время измерения XPS. На практике измеренная кинетическая энергия (KE m ) отличается от идеального значения (KE i ), определяемого как KE P в уравнении. (2.5.1) или KE A в уравнении. (2.5.2). Отношение между KE m и KE i определяется как

(2.5.3)KEm=KEi–Φsp–Ec

, где Φ sp — работа выхода спектрометра, т. е. энергия, необходимая для перевода электрона с нулевого уровня энергии связи (или уровня Ферми) на уровень спектрометр. E c – дополнительная энергия замедления из-за зарядки образца. Чтобы определить энергию связи фотоэлектрона и кинетическую энергию оже-электрона, измеренную энергию электрона следует скорректировать на Φ sp и E c .

Линия C 1s или Au 4f 7/2 широко используется в качестве основного стандарта для калибровки энергии электронов. Часто для этой цели удобно использовать линию C 1s (углеводородов), так как этот пик обычно возникает из-за случайного загрязнения поверхности маслом вакуумного насоса. Однако энергия связи C 1s зависит от природы источника углерода и не является точным стандартом энергии связи. Кроме того, дифференциальный заряд образца и углеводородов (из-за различий в электрической непроводимости) может привести к неожиданной ошибке в определении энергии связи.С другой стороны, линия Au 4f 7/2 золотой пленки, напыленной на образец, является надежным эталоном, поскольку ее энергия связи (84,0 эВ) была точно измерена (Ebel et al., 1983; Anthony and Сиа, 1984). Так, энергию связи электронов составляющих элементов в данном образце часто определяют относительно энергии связи Au 4f 7/2 в предположении, что уровень Ферми образца совпадает с уровнем Ферми испаренного золота.

Образцы минералов для анализа методом XPS обычно имеют форму порошка или тонкого среза.Перед помещением в аппарат образец подсушивают и прикрепляют к металлическому держателю образцов двусторонней липкой лентой, электропроводящей пастой или другими способами. Образцы также можно закрепить, поместив дисперсию на держатель образца и дав растворителю испариться. В качестве альтернативы образец может быть запрессован в мягкий металл, такой как индий.

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован.